FLAMÍKOVÁ, K. Studium procesů během depozice tenkých organosilikonových vrstev [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2008.
Cílem práce byla charakterizace plazmatu během depozice tenkých vrstev na bázi tetravinylsilanu (TVS) pomocí optické emisní spektroskopie. Studentka se nejprve musela seznámit jak se spektroskopií plazmatu jako takovou, tak i se specifickými podmínkami v plazmatu během depozice. Dalším krokem pak bylo zvládnutí principů výpočtů základních parametrů plazmatu (rotační, vibrační a elektronová teplota) z emisního spektra. Vlastní měření probíhalo na zařízení pracujícím v pulzním režimu, přičemž výboj byl generován v čistém TVS a v TVS s různou příměsí kyslíku. Prvním krokem byla identifikace změřených spekter. Podařilo se identifikovat přechody odpovídající atomům (vodík, kyslík) i molekulové pásy odpovídající některým fragmentům původního monomeru. Z intenzit atomárních čas vodíku pak byla stanovena teplota elektronů v závislosti na depozičních podmínkách. Obdobně z rotační struktury spektra radikálu CH byla stanovena rotační teplota. Vibrační teplotu se stanovit nepodařilo, protože se nepodařilo získat potřebné spektroskopické konstanty pro zvolený přechod (-1. sekvence Swanova systému molekuly C2). Výsledky ukazují zcela jasně závislost jak složení, tak i teplot plazmatu na použitém režimu výboje i na složení reakční směsi. Samotná optická emisní spektroskopie však nepodává dostatečně komplexní informaci o složení plazmatu během depozičního procesu, a proto ji bude nutné v další práci doplnit o některou další metodu diagnostiky plazmatu. Studentka pracovala svědomitě a získané výsledky průběžně konzultovala. Jediným nedostatkem bylo poněkud slabší využití dostupné literatury, z níž by se pravděpodobně podařilo získat některé další užitečné informace o studovaném depozičním procesu. Práce splňuje kritéria kladená na bakalářské práce a doporučuji ji hodnotit známkou výborně (A).
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků zadání | A | ||
| Studium literatury a její zpracování | C | ||
| Využití poznatků z literatury | B | ||
| Kvalita zpracování výsledků | B | ||
| Interpretace výsledků, jejich diskuse | A | ||
| Závěry práce a jejich formulace | A | ||
| Využívání konzultací při řešení práce | A | ||
| Celkový přístup k řešení úkolů | A |
Byly experimenty prováděny na původní aparatuře nebo byla použita nová aparatura s připojeným MS? Jaké další metody diagnostiky plazmatu máte v plánu realizovat? Vámi uvedená vypočtená hodnota teploty 1700 - 2100 K se opravdu týká teploty rotační? Pozn.: Efektivní elektronová teplota by dle mého názoru měla být závislá na délce pulzu.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků zadání | A | ||
| Logické členění práce | A | ||
| Kvalita zpracování výsledků | A | ||
| Interpretace výsledků, jejich diskuse | A | ||
| Využití literatury a její citace | A | ||
| Úroveň jazykového zpracování | A | ||
| Formální úroveň práce – celkový dojem | A | ||
| Závěry práce a jejich formulace | B |
eVSKP id 10444