Užití kovových materiálů pro selektivní růst
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Povrch Si(100), povrchové fáze Ga a jejich oxidace byly zkoumány pomocí metod XPS a LEED. Byly provedeny studie oxidace substrátu Si(100) a struktury (2x2)-Ga s následným žíháním pro odpaření oxidu gallného. Selektivní růst Ga na mřížkách tvořených SiO2/Si byl mapován s využitím metod SEM a AFM. Bylo zjištěno, že gallium roste uvnitř struktur selektivně. Dále byly analyzovány jednotlivé struktury. Kombinací STM měření a výpočtů DFT se podařila plně určit struktura povrchového oxidu na Ni3Al(111) a na NiAl(110) substrátech. Bylo zjištěno, že struktura povrchového oxidu hlinitého na NiAl(110) netvoří tzv. vzor, a že klastry Fe a Co na něm nerostou uspořádaně. Naproti tomu, oxid hlinitý vytvořený na povrchu Ni3Al(111) vzor tvoří a může být použit pro růst klastrů Fe a Co.
The Si(100) surface and Ga surface phases up to 1 ML on their oxidation have been studied by XPS and LEED. The selective growth of Ga on the SiO2/Si structures fabricated by EBL has been analyzed using SEM and AFM methods. It was proved that Ga clusters grow in structures beside the oxide. The structure of alumina on Ni3Al(111) and NiAl(110) substrates was fully determined by combining the results of STM measurements and DFT simulations. It was determined the alumina/NiAl(110) does not form a suitable template for ordered Fe and Co clusters growth. However, the next research confirmed the alumina/Ni3Al(111) forms template appropriate to clusters growth purpose.
The Si(100) surface and Ga surface phases up to 1 ML on their oxidation have been studied by XPS and LEED. The selective growth of Ga on the SiO2/Si structures fabricated by EBL has been analyzed using SEM and AFM methods. It was proved that Ga clusters grow in structures beside the oxide. The structure of alumina on Ni3Al(111) and NiAl(110) substrates was fully determined by combining the results of STM measurements and DFT simulations. It was determined the alumina/NiAl(110) does not form a suitable template for ordered Fe and Co clusters growth. However, the next research confirmed the alumina/Ni3Al(111) forms template appropriate to clusters growth purpose.
Description
Citation
NĚMEČEK, T. Užití kovových materiálů pro selektivní růst [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2008-06-10
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení