Využití speciálního optického vlákna v komoře elektronového mikroskopu
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Táto bakalárska práca je zameraná na úpravu vákuovej komory rastrovacieho elektrónového mikroskopu VEGA od firmy TESCAN Brno s.r.o. za účelom implementácie rastrovacieho sondového mikroskopu. Ďalej je venovaná vývoju aparatúry pre použitie dutého optického vlákna, ktoré umožní zavedenie svetla a rôznych plynov na povrch vzorky umiestnenej vo vákuu elektrónového mikroskopu. Použitím dutého optického vlákna ako sondy rastrovacieho sondového mikroskopu sa umožní pracovať s hrotom so špecifickými vlastnosťami. V teoretickej časti je uvedený stručný úvod do rastrovacej elektrónovej mikroskopie a mikroskopie atomárnych síl. Ďalej je v tejto časti opísaná technika použitia optických vlákien v optickej mikroskopii v blízkom poli. Predstavená je aj problematika vákuových systémov, prúdenia plynu potrubím a technika lokálneho vstrekovania plynu. V konštrukčnej časti sú uvedené postupne kroky vo vývoji vákuovej komory a aparatúry umožňujúcej zavedenie optického vlákna do komory mikroskopu. V experimentálnej časti je prezentovaný výsledok meraní realizovaných sondou rastrovacieho sondového mikroskopu s modifikovaným optickým vláknom a plynovej priepustnosti dutého optického vlákna.
This bachelor thesis is concerned about the modification of vacuum chamber of the Scanning Electron Microscope VEGA developed by TESCAN Brno s.r.o. in order to implementation of Scanning Probe Microscope. Moreover, it is dedicated to development of apparatus for using hollow optical fiber allowing the guidance of light and various gases on the sample surface placed in the vacuum of electron microscope. By using the hollow optical fiber as a probe of Scanning Probe Microscope, it is possible to work with a tip with specific properties. A brief introduction to Scanning Electron Microscopy and Atomic Force Microscopy is presented in the theoretical part. Furthermore, there is a technique of using optical fibers in Scanning Near-field Optical Microscopy described. Also a problem of vacuum systems, gas flow through the pipe and technique of Gas Injection System is introduced. In the construction part, there are initiated steps in the development of the vacuum chamber and the apparatus allowing the guidance of hollow optical fiber into the chamber of microscope. The experimental part presents the result of measurements obtained by probe of Scanning Probe Microscope with modified optical fiber and gas transmissivity of hollow optical fiber.
This bachelor thesis is concerned about the modification of vacuum chamber of the Scanning Electron Microscope VEGA developed by TESCAN Brno s.r.o. in order to implementation of Scanning Probe Microscope. Moreover, it is dedicated to development of apparatus for using hollow optical fiber allowing the guidance of light and various gases on the sample surface placed in the vacuum of electron microscope. By using the hollow optical fiber as a probe of Scanning Probe Microscope, it is possible to work with a tip with specific properties. A brief introduction to Scanning Electron Microscopy and Atomic Force Microscopy is presented in the theoretical part. Furthermore, there is a technique of using optical fibers in Scanning Near-field Optical Microscopy described. Also a problem of vacuum systems, gas flow through the pipe and technique of Gas Injection System is introduced. In the construction part, there are initiated steps in the development of the vacuum chamber and the apparatus allowing the guidance of hollow optical fiber into the chamber of microscope. The experimental part presents the result of measurements obtained by probe of Scanning Probe Microscope with modified optical fiber and gas transmissivity of hollow optical fiber.
Description
Citation
ČERNEK, O. Využití speciálního optického vlákna v komoře elektronového mikroskopu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
sk
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2019-06-20
Defence
Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno:
Síly působící mezi hrotem AFM mikroskopu a povrchem.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení