Naprašování tenkých vodivých vrstev
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
E
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Bakalárska práca sa venuje problematike tenkých vrstiev, najmä tenkých vodivých priehľadných vrstiev a ich depozície na povrch substrátov. Ďalej sa práca zaoberá možnými metódami depozície, ich výhodami a nevýhodami, popisom konštrukcie magnetronového naprašovacieho zariadenia NP12, popisom princípu depozície tenkých vodivých vrstiev, použitím metódy reaktívneho magnetronového naprašovania, prípravou substrátu pred procesom naprašovania a teplotným spracovaním substrátov po nanesení tenkej vrstvy. Pre účely tejto práce bol vytvorený aj návod na obsluhu naprašovacieho zariadenia NP12. V rámci práce boli magnetronovým naprašovaním vytvorené a zažíhané vrstvy ITO na sódnovápenatý kremičitý sklenený substrát pri rôznych procesných parametroch. Tieto experimentálne vytvorené vrstvy boli vyhodnotené z pohľadu kryštalografie pomocou XRD merania, pre určenie vplyvu žíhania na kryštálovú mriežku. Ďalej boli substráty analyzované skenovacím elektrónovým mikroskopom na zistenie prítomných prvkov vo vrstve.
This bachelor’s thesis is focused on the issues of thin films, especially thin transparent conductive films, and their deposition on substrate surface. Methods of deposition, their pros and cons, construction of the NP12 sputtering device, fundamentals of a deposition of thin conductive films, using reactive magnetron sputtering, preparation of substrates before deposition and thermal processing of substrates after deposition are issues that are described in this thesis. Instruction manual for magnetron sputtering device NP12 was created. For the purpose of this thesis several samples were prepared by magnetron sputtering device NP12 with different process parameters. These experimentally created samples were evaluated with the help of XRD measurement, to determine the influence of annealing in a vacuum oven on a crystal lattice. Substrates were also analysed by scanning electron microscope to evaluate presence of chemical elements inside the thin films.
This bachelor’s thesis is focused on the issues of thin films, especially thin transparent conductive films, and their deposition on substrate surface. Methods of deposition, their pros and cons, construction of the NP12 sputtering device, fundamentals of a deposition of thin conductive films, using reactive magnetron sputtering, preparation of substrates before deposition and thermal processing of substrates after deposition are issues that are described in this thesis. Instruction manual for magnetron sputtering device NP12 was created. For the purpose of this thesis several samples were prepared by magnetron sputtering device NP12 with different process parameters. These experimentally created samples were evaluated with the help of XRD measurement, to determine the influence of annealing in a vacuum oven on a crystal lattice. Substrates were also analysed by scanning electron microscope to evaluate presence of chemical elements inside the thin films.
Description
Keywords
Tenké vodivé vrstvy, reaktívne magnetronové naprašovanie, metódy depozície tenkých vrstiev, popis magnetronového zariadenia NP12, metódy vyhodnocovania tenkých vrstiev, štádia a popis rastu tenkých vrstiev, Thin conductive film, reactive magnetron sputtering, methods of thin film deposition, description of magnetron sputtering device NP12, thin film evaluation methods, stages and description of thin film growth
Citation
SLOBODA, A. Naprašování tenkých vodivých vrstev [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2020.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
sk
Study field
bez specializace
Comittee
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (předseda)
Ing. Roman Prokop, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Ing. Pavel Čudek, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Petr Vyroubal, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2020-06-24
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta a komise.
Otázky komise k obhajobě:
1. Víte co za sloučeninu je ITO?
2. Na co se používá oxid india?
3. Jaké má elektrické vlastnosti? Měřil jste je?
4. Víte jako vypadá ITO po aplikaci?
5. Jaká je propustnost záření přes ITO?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení