Scintilační detektor sekundárních elektronů s řízeným prouděním plynů pro EREM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Diplomová práce se zabývá návrhem a optimalizací konstrukce experimentálního scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop a popisem principu činnosti uvedeného detektoru. Experiment vychází ze simulací proudění plynu ve vnitřních částech detektoru a simulací drah sekundárních elektronů v elektrostatických polích detektoru. Na základě těchto simulací jsou provedeny návrhy nových konstrukčních řešení detektoru. Pro navržené konstrukce jsou opětovně realizovány simulace proudění plynu a drah elektronů. Z navržených konstrukcí detektoru jsou vybrány takové, které se jeví být vhodné pro detekci sekundárních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu.
This master’s thesis deals with a design and optimization of an experimental scintillation secondary electron detector for the environmental scanning electron microscope and with a description of a detector operation principle. The experiment is founded on simulations of a gas flow in detector inner sections and on simulations of secondary electron trajectories in electrostatic fields of the detector. On the basis of the simulations, new solutions of the detector designs are proposed. For these designs, same simulations as previous are performed and designs that seem to be feasible for the secondary electron detection in environmental scanning electron microscope are selected.
This master’s thesis deals with a design and optimization of an experimental scintillation secondary electron detector for the environmental scanning electron microscope and with a description of a detector operation principle. The experiment is founded on simulations of a gas flow in detector inner sections and on simulations of secondary electron trajectories in electrostatic fields of the detector. On the basis of the simulations, new solutions of the detector designs are proposed. For these designs, same simulations as previous are performed and designs that seem to be feasible for the secondary electron detection in environmental scanning electron microscope are selected.
Description
Keywords
Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM), sekundární elektrony (SE), scintilační detektor SE, proudění plynů, simulace drah elektronů., Environmental scanning electron microscope (environmental SEM, VP SEM), secondary electrons (SE), scintillation SE detector, gas flow, simulation of electrons trajectory.
Citation
KOZÁK, J. Scintilační detektor sekundárních elektronů s řízeným prouděním plynů pro EREM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (předseda)
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (místopředseda)
doc. Ing. František Bartes, CSc. (člen)
doc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (člen)
Ing. Karel Pospíšil (člen)
Date of acceptance
2009-06-10
Defence
Diplomant seznámil státní zkušební komisi se zadáním, zpracováním a výsledky své diplomové práce
a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
1. S jakou přesností lze dle vašeho názoru simulovat velikost tlaku plynu pomocí softwaru Cosmos FloWorks pro tlaky o velikosti menší než 0,001Pa?
2. Jaká je hlavní nevýhoda použití softwaru SIMION v oblasti environmentální rastrovací elektronové mikroskopie?
3. Jaký byl tlak v komoře scintilačního detektoru?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení