Stínící efekt oxidové izolační vrstvy na povrchový potenciál měřený pomocí Kelvinovy sondové mikroskopie
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato diplomová práce je zaměřená na experimentální studium stínícího efektu oxidové izolační vrstvy na povrchový potenciál měřený Kelvinovým silovým mikroskopem. Pro studium povrchového potenciálu byly vytvořeny struktury na bázi Au/SiO2 pomocí elektronové litografie a metod depozice monovrstev a multivrstev. Povrchový potenciál byl zkoumaný v závislosti na vlhkosti a tloušťce oxidové vrstvy.
The diploma thesis deals with the experimental study of shielding effect of oxide isolating layer on surface potential measured by Kelvin Probe Force Microscopy. For the study of surface potential were created Au/SiO2 based nanostructures by Electron Beam Lithography, Atomic Layer Deposition and Multilayer Deposition. Surface potential was measured depending on the relative humidity and thickness of oxide isolating layer.
The diploma thesis deals with the experimental study of shielding effect of oxide isolating layer on surface potential measured by Kelvin Probe Force Microscopy. For the study of surface potential were created Au/SiO2 based nanostructures by Electron Beam Lithography, Atomic Layer Deposition and Multilayer Deposition. Surface potential was measured depending on the relative humidity and thickness of oxide isolating layer.
Description
Keywords
Citation
ŠVARC, V. Stínící efekt oxidové izolační vrstvy na povrchový potenciál měřený pomocí Kelvinovy sondové mikroskopie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2015-06-23
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení