Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Práce pojednává o teoretických poznatcích z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie a environmentální rastrovací elektronové mikroskopie. Popisuje princip činnosti, signály vznikající při interakci primárního svazku elektronů se vzorkem a způsob detekce signálu sekundárních elektronů v environmentálních podmínkách pomocí scintilačního detektoru. Dále se práce zaměřuje na optimalizaci detekce sekundárních elektronů pomocí úprav elektrodového systému scintilačního detektoru. K úpravě je využit počítačový program Simion, kterým jsou modelovány trajektorie signálních elektronů v elektrostatických polích uvnitř detektoru. Provedené simulace byly východiskem pro konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost upraveného detektoru byla určena popsanou metodou z vyhodnocení velikosti signálu z pořízených snímků, schopnost detekovat sekundární elektrony z napěťového kontrastu a kvalita snímků z poměru signálu k šumu.
Thesis deals with theoretical knowledge about scanning electron microscopy and environmental scanning electron microscopy. It describes principle of operation, signals generated by interaction between primary electron beam and specimen and means of detection of secondary electron signal in environmental conditions using scintillation detector. Furthermore, thesis focuses on optimization of detection od secondary electrons by adjusting electrode system of scintillation detector. Computer program Simion is used for modelling signal electron trajectories for proper adjustments. Simulation were starting-point for adjusting the design of the detector. Detection efficiency of adjusted detector was determined by evaluating signal magnitude from captured images, secondary electron detection capability from voltage contrast and quality of the captured images from signal/noise ratio.
Thesis deals with theoretical knowledge about scanning electron microscopy and environmental scanning electron microscopy. It describes principle of operation, signals generated by interaction between primary electron beam and specimen and means of detection of secondary electron signal in environmental conditions using scintillation detector. Furthermore, thesis focuses on optimization of detection od secondary electrons by adjusting electrode system of scintillation detector. Computer program Simion is used for modelling signal electron trajectories for proper adjustments. Simulation were starting-point for adjusting the design of the detector. Detection efficiency of adjusted detector was determined by evaluating signal magnitude from captured images, secondary electron detection capability from voltage contrast and quality of the captured images from signal/noise ratio.
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop, environmentální rastrovací elektronový mikroskop, sekundární elektrony, scintilační detektor, scintilační detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, napěťový kontrast, poměr signál/šum, Scanning electron microscope, environmental scanning electron microscope, secondary electron, scintillation detector, scintillation detector for environmental scanning electron microscope, voltage contrast, signal/noise ratio
Citation
ODEHNAL, A. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a materiálové inženýrství
Comittee
prof. Ing. Karel Bartušek, DrSc. (předseda)
Ing. Zdenka Rozsívalová (místopředseda)
Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen)
Ing. Helena Polsterová, CSc. (člen)
Ing. Ladislav Chladil, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2016-06-08
Defence
Podle čeho a jak byla vybírána napětí přiložená na elektrody?
Největší úrovně signálu bylo dosaženo při tlaku 200 Pa. Čím je to způsobeno?
Jakým způsobem byl vyhodnocován poměr signál/šum?
Student seznámil zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení