DVOŘÁK, M. Příprava ultratenkých vrstev SiN [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2011.
Student se v rámci bakalářské práce aktivně podílel na realizaci efuzní cely poskytující atomární svazky Si. V rámci bakalářské práce byla sestavena, testována a kalibrována fuzní cela poskytující atomární svazky Si. Dále se studen seznámil se základy konstruování v UHV podmínkách, kdy prováděl konstrukční návrh úprav testovací komory. Dále byly provedeny první depozice Si a SiN vrstev. Tyto vrstvy byly studovány pomocí metody XPS. Studen svou prací položil základy depozice Si pomocí napařování na Ústavu fyzikálního inženýrství v Brně. Výsledky budou využity k přípravě GaN vrstev a k přípravě polovodičových nanovláken. Práce studenta byla intenzivní a samostatná. Proto lze konstatovat, že student splnil všechny úkoly zadání, projevoval zájem o danou problematiku při práci si počínal snaživě.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | B | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | B | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | B | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | A |
Hlavním cílem bakalářské práce bylo zvládnutí přípravy tenkých vrstev Si a SiN. Na úvod autor práce vypracoval krátkou rešeršní studii ultratenkých vrstev SiN, které byly v experimentální části bakalářské práce také deponovány. Práce zahrnovala kompletaci a oživení na ústavu zkonstruované efúzní cely v testovací komoře, nalezení vhodných provozních parametrů tohoto zařízení, kalibrace rychlosti růstu vrstvy při depozici křemíku a nakonec bylo provedeno několik experimentů prokazujících funkčnost a spolehlivost cely při přípravě vrstev nitridů křemíku pomocí třech metod: napouštění dusíku do komory za pokojové teploty při současné depozici křemíku a dále depozice ionty dusíku na křemíkový substrát za pokojové a zvýšené teploty. Po stránce pravopisné je práce bohužel zatížena desítkami gramatických chyb, především skloňování a nesmyslných větných konstrukcí, které napovídají o tom, že práce byla dokončována na poslední chvíli, nezbyl čas na dostatečnou revizi a významně kazí dojem na jinak velmi pěknou práci. Z hlediska členění a obsahu je však práce přehledná, logicky uspořádaná a doprovázená pěknými obrázky. Při plnění úkolů autor prošel procesem montáže efúzní cely, hledání provozních parametrů, prvních pokusů s depozicí křemíku, se kterým na ústavu dosud nebyly žádné zkušenosti a nakonec provedl úspěšné experimenty, které vyhodnotil pomocí analytické metody XPS. Zvládnutí tolika činností v bakalářské práci zřejmě vyžadovalo kvalitní a časově náročné vedení studenta. Při vývoji a výrobě efúzní cely bylo využito poznatků s konstrukcí efúzních cel používaných pro jiné materiály. Efúzní cely získané tímto způsobem uspoří značné množství finančních prostředků a zkušenosti z konstrukce poskytují naší laboratoři know-how pro návrh zařízení podobných typů. Výsledky práce také rozšíří možnosti napařování ultratenkých vrstev o další materiál. Z výsledků bakalářské práce a přiložené výkresové dokumentace vyplývá, že byly všechny zadané úkoly úspěšně splněny. Přes výše uvedené nedostatky práci hodnotím jako zdařilou, doporučuji k obhajobě a v případě úspěšného zodpovězení otázek navrhuji hodnocení stupněm B.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | B | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | C | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 38696