PROCHÁZKA, M. Diagnostika depozice tenkých vrstev připravovaných z dimethylphenylsilanu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2010.
Cílem diplomové práce byla diagnostika plazmatu využívaného při depozocích tenkých vrstev s použitím dimethylphenyl silanu jako precursoru. Pro potřeby práce bylo nezbytné zejména nastudovat základní literaturu zabývající se diagnostikou organosilikonových depozičních procesů. Ukázalo se, že literatura je jen velmi omezená v případě námi zvoleného precursoru, a proto byla identifikace optických emisních spekter výbojů velmi ztížena. I přesto se podařilo ze spektr získat celou řadu cenných informací o závislosti jednotlivých zářících fragmentů na podmínkách výbojů. Bohužel se nepodařilo realizovat původně plánovaná in situ měření pomocí hmotnostní spektroskopie, neboť byl nově vznesen požadavek nekontaminovat potřebné zařízení žádným jiným monomerem kromě tetravinylsilanu. Z chemického pohledu je tento požadavek přinejmenším podivný, neboť dimethzlphenyl silan je izomerem výše uvedeného, a žádná kontaminace tedy nehrozí. Náhradní řešení pro in situ hmotnostní spektroskopii se nepodařilo bohužel zajistit ani na spřátelených pracovištích. Celkově diplomant pracoval velmi samostatně a v odpovídající míře využíval konzultací. Při experimentální práci byl velmi iniciativní a i získané výsledky jsou velmi kvalitní a ve spojení s dalšími experimentálními i teoretickými daty by měly posloužit k hodnotné publikaci v blízké budoucnosti. Celkově hodnotím práci stupněm A.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků zadání | A | ||
| Studium literatury a její zpracování | A | ||
| Využití poznatků z literatury | B | ||
| Kvalita zpracování výsledků | A | ||
| Interpretace výsledků, jejich diskuse | A | ||
| Závěry práce a jejich formulace | A | ||
| Využívání konzultací při řešení práce | A | ||
| Celkový přístup k řešení úkolů | A |
Chybí hmotnostní spektroskopie uvedená v zadání. Metoda OES je obecně nevhodná na určování fragmentů. Dusíková molekula určitě není fragment původního monomeru. Bez analýz produktu (polymeru) je diagnostika plazmatu poněkud samoúčelná.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků zadání | B | ||
| Logické členění práce | A | ||
| Kvalita zpracování výsledků | A | ||
| Interpretace výsledků, jejich diskuse | B | ||
| Využití literatury a její citace | A | ||
| Úroveň jazykového zpracování | A | ||
| Formální úroveň práce – celkový dojem | A | ||
| Závěry práce a jejich formulace | A |
eVSKP id 27443