KRÁTKÝ, S. Studium vlastností periodických mřížek vytvořených elektronovou litografii [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2010.
Student v průběhu řešení bakalářské práce prokázal nejen dobré teoretické znalosti ale i schopnosti čerpat a osvojit si nové poznatky z odporné literatury. Při řešení experimentální části práce se velmi snadno zapracoval do obsluhy vyhodnocovacích zařízení (AFM, profilometr atd.). Během práce si student vyzkoušel přípravu substrátu včetně nanášení rezistu odstředivým litím, práci v návrhovém programu pro přípravu expozičních dat a v neposlední řadě obsluhu elektronového litografu. Student dokázal samostatně vytvořit v návrhovém systému test pro vyhodnocování geometrických i optických parametrů dvouúrovňových reliéfních mřížek a následné provést jejich expozici na připravený substrát v elektronovém litografu. Student byl schopný i samostatné práce při měření a vyhodnocování připraveného vzorku na mikroskopu atomárních sil (AFM), profilometru a při měření difrakční účinnosti struktur luxmetrem. Pro navržené a vytvořené vzorky dvouúrovňových reliéfních mřížek stanovil a v grafu vynesl závislosti hloubky mřížky na její periodě. Z měření difrakční účinnosti na mřížkách dále ověřil platnosti vzorce pro teoretický výpočet difrakční účinnosti binárních mřížek. Celkově student k práci přistupoval velmi aktivně a se zodpovědným přístupem.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění zadání | A | 48/50 | |
| Aktivita během řešení a zpracování práce (práce s literaturou, využívání konzultací, atd.) | A | 20/20 | |
| Formální zpracování práce | A | 19/20 | |
| Využití literatury | A | 10/10 |
Bakalářská práce se zabývá problematikou tvorby reliéfních periodických struktur pomocí elektronové litografie. Práce je rozdělena na teoretickou a praktickou část. V teoretické části student popisuje jednotlivé typy litografie, přičemž se podrobněji věnuje reliéfní elektronové litografii. Dále popisuje elektronový litograf BS600, ve kterém probíhala příprava vzorků, binární mřížky a zabývá se metodami vyhodnocení. V praktické části student popisuje přípravu a výrobu vzorků a jejich vyhodnocení. Pro vyhodnocení vzorků si student zvolil metody profilometrie a mikroskopie atomárních sil, což se pro dané účely jeví jako nejvhodnější metody. Interpretace výsledků je logiká. Zajímavý je fakt strmého poklesu hloubky pro vzorky se stejnou expoziční dávkou a s periodou
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků zadání | A | 20/20 | |
| Odborná úroveň práce | A | 47/50 | |
| Interpretace výsledků a jejich diskuse | B | 17/20 | |
| Formální zpracování práce | A | 10/10 |
eVSKP id 31806