MIČULKA, M. Tomografická analýza polovodičových struktur metodou FIB-SIMS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2020.
Cílem práce bylo provést tomografické měření na průmyslové polovodičové struktuře metodou FIB-SIMS. Martin se naučil měřit na přístroji TOF-SIMS a podařilo se mu napsat skript umožňující provádět tomografická měření metodou SIMS. Měřená data byla programově zpracována a vizualizována v prostředí Avizo od firmy Thermo Fisher Scientific. Zadání tak bylo splněno a změřená data budou použita v rámci mezinárodního tomografického projektu podpořeného TAČR. Studenta hodnotím stupněm A.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry | B | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | A |
Práce Martina Mičulky se zabývá pokročilou analýzou polovodičových struktur metodou FIB-SIMS tomografie. Práce plně nekoresponduje se zadáním. V zadání bak. práce jsou 3 úkoly: 1) provést rešerši tomografických analýz vzorků metoudou FIB-SIMS, 2) optimalizovat a popsat postupy tomografické analýzy FIB-SIMS pro konkrétní přístroj SIMS5 včetně vyhodnocení analýz a 3) Provést testovací měření aplikovatelné v elektrotechnickém průmyslu. Zatímco 2. a 3. část zadání byly splněny beze zbytku, první část je poměrně nesourodá a nekompletní. Chybí zde podrobnější popis použitého FIB-SIMS systému, historie a současný stav této metody. Po úvodních statích vysvětlujících principy různých variant metody SIMS se zabývá vysvětlením funkce některých částí systému nebo dějů provazejích analýzu. Značný prostor je věnován popisu funkce zdrojů iontů emitovaných polem, přičemž např. způsobem detekce sekundárních iontů (spektroskopu), vakuovou komorou, čerpacím systémem a požadavky na něj se práce vůbec nezabývá. V práci byly zkoumány vzorky prokovených křemíkových desek. V kapitole 3. je možná zbytečně rozsáhle, ale srozumitelně vysvětlena problematika prokovování křemíkových desek, bylo by však vhodné ji v bakalářské práci lépe uvést. Problematika metodiky FIB-SIMS v oblastech, kterými se student v práci podrobněji zabývá, je však popsána přehledně a srozumitelně. Z práce je zřejmé, že student pracoval s kvalitní odbornou literaturou a s pochopením. Z dosažených výsledků je zřejmé, že student zvládl velmi dobře práci na pokročilém zařízení a je schopen s jeho pomocí získávat cenné informace o struktuře a složení vzorků. Zde student odvedl velké množství práce. Rozhodně stojí za zmínku úsilí vynaložené na automatizaci měření programem AutoIt (500 řádek kódu), které bude velmi prospěšné při budoucím využití zařízení. Práce byla bohužel zatížena poměrně velkým množstvím překlepů (několik desítek), špatným skloňováním slov a občas horší srozumitelností vět, které jinak výbornou úroveň práce zbytečně snižují. I proto práci hodnotím výsledným stupněm B.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | B | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | B | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | C | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 125375