JONNER, J. Analýza a modifikace tenkých vrstev pomocí iontových svazků [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2010.

Posudky

Posudek vedoucího

Bábor, Petr

V rámci diplomové práce byla provedena analýza MoSi vrstev pomocí paralelního hloubkového profilování metodami SIMS a TOF-LEIS. Rovněž bylo provedeno vyhodnocení a interpretace experimentálních dat. Byly nastíněny možnosti využití metody TOF-LEIS pro kvantitativní zpracování dat měřených metodou SIMS. Bylo prokázáno vyšší rozlišení metody TOF-LEIS při použití He částic odražených pod mixovanou povrchovou vrstvou. Nad rámec zadání byla povedena velmi časově náročná konstrukce manipulátoru s UHV krokovým motorem, jehož většina částí je v současné vyrobena. Během pobytu na Technické univerzitě ve Vídni se diplomantovi podařilo na vysoké úrovni zvládnout měření metodou STM, což je v diplomové práci ilustrováno pomocí experimentu, ve kterém byly modifikovány tenké vrstvy Fe pomocí iontových svazků. Vzhledem k svědomité, aktivní a tvůrčí činnosti diplomanta navrhuji práci hodnotit stupněm A.

Dílčí hodnocení
Kritérium Známka Body Slovní hodnocení
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A
Navrhovaná známka
A

Posudek oponenta

Lörinčík, Jan

Předloženou práci lze rozdělit na dvě zhruba stejně rozsáhlé části, jejichž společným jednotícím prvkem je technologie iontových svazků. V první části je popsáno využití iontových svazků na chemickou analýzu multivrtevMoSi originálním způsobem, který spočívá v kombinaci metod TOF-LEIS a SIMS. Ve druhé části jsou popsány experimenty, při kterých jsou iontové svazky využity na lokální modifikaci krystalografické struktury tenkých vrstev Fe nanesených na monokrystalu Cu. Práce je napsána přehledně a lze si z ní udělat představu o přínosu a podílu diplomanta na jejích výsledcích. Diplomant ve své práci prokázal zvládnutí široké škály dovedností a znalostí; od osvojení si programu na simulaci iontových svazků SIMION a programu AutoCAD až po zvládnutí metod přípravy (vakuové napařování) a diagnostiky (TOF LEIS, SIMS, STM, LEED, AES) tenkých vrstev a povrchů. Při vysvětlování motivace pro použití kombinované metody TOF-LEIS SIMS, se vyskytuje důležitý pojem hloubkového rozlišení. Nikde jsem však nenašel definici hloubkového rozlišení a také žádný kvantitativní odhad jakého hloubkového rozlišení bylo dosaženo metodou TOF-LEIS SIMS při měření MoSi multivrstev (Obr. 4.10. až 4.12.). Není tudíž možné v tomto parametru porovnat výsledky diplomové práce s výsledky dasaženými v jiných laboratořích. Domnívám se, že jeden nebo dva odstavce na toto téma chybí do úplného splnění bodu b) ze seznamu cílů diplomové práce. Ostatní cíle diplomové práce pokládám za splněné beze zbytku. Zpracování SIMS profilu z Obr. 4.9. pokládám za velmi objevné a originální. S hloubkovým profilem MoSi multivrstev se zachází tak, jako by to byla binární slitina MoxSi1-x s hloubkou se měnícím parametrem x, který odpovídá relativní koncentraci Mo definované v rovnici 4.1. Na druhé straně Obr. 4.9. a z něho odvozené dramaticky "vylepšené" profily v Obr. 4.10 by si žádaly více komentáře. V práci jsem našel zanedbatelné minimum formálních nedostatků: v anglickém abstraktu by mělo být LEIS místo LAIS, na konci par. 2.1. RSF místo RFS, na str. 7 na 2. a 10. řádku dolního odstavce "mohou" místo "můžou".

Dílčí hodnocení
Kritérium Známka Body Slovní hodnocení
Splnění požadavků a cílů zadání B
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Navrhovaná známka
A

Otázky

eVSKP id 30016