ŠALOMOUN, V. Pokročilé techniky mikroobrábění [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Předmětem bakalářské práce byly pokročilé techniky mikroobrábění. Cílem bylo prostudovat techniky povrchového a objemového mikroobrábění, které se využívají v mikro-elektro-mechanických systémech (MEMS). Praktickým cílem pak bylo navrhnout a realizovat např. mikrojazýček (Cantilever), který bude využitelný v senzorice popř. jako aktuátor. V teoretické části práce se student zabýval mikrosystémy a poté dle zadání také mikroobráběcími technikami. Zaměřil se především na možné techniky, které lze využít k vytvoření zavěšené membrány a mikrojazýčku. Celou teoretickou část zpracoval student Vojtěch Šalomoun zcela samostatně s použitím jím vybrané i vedoucím doporučené literatury, ze které vybral a zpracoval nejpodstatnější části, které následně využil při zpracovávání praktické části práce. Praktickou část práce tvořil především návrh a simulace navržených struktur v programu CoventorWare. I přes to, že práce s tímto simulačním programem není jednoduchá a je nutné si osvojit spoustu fyzikálních principů a technologických postupů, student práci zvládl na výbornou. Při výběru zasíťování volil vždy jednoduchou a velice účinnou síť, která mu zefektivnila výpočet a eliminovala velikost chyby. Při simulaci pak využíval pouze nejnutnější část simulovaných mikrostruktur, čímž také urychlil výpočet. V praktické části se student dále zabýval výrobou navržených mikrostruktur, osvojil si základy návrhu fotolitografických masek, samotnou fotolitografii i izotropní leptání v reaktivních parách XeF2. Student Vojtěch Šalomoun přistupoval po celou dobu k práci zodpovědně a účastnil se schůzek v předem dohodnutých termínech. Věnoval se řádně studiu jím vybrané i vedoucím doporučené literatury a přicházel samostatně s návrhy řešení situací a problémů. Závěrečné zpracování a sepsání výsledků bakalářské práce proběhlo s dostatečným předstihem, tedy rovněž bez vážnějších komplikací. K formálnímu zpracování práce nemám téměř žádné výhrady. S ohledem na uvedené skutečnosti navrhuji práci k obhajobě a hodnotím ji stupněm A/90 bodů.
Předmětem bakalářské práce byla oblast vytváření mikroelektromechanických systémů (MEMS) pomocí pokročilých technik mikroobrábění. Dle zadání měl student prostudovat techniky mikroobrábění se zaměřením na povrchové a objemové mikroobrábění. Měl navrhnout a vytvořit jazýček využitelný v senzorice, případně mikroaktuátorech. Úkol vyžadoval zpracování množství literatury z oblasti MEMS, zejména s ohledem na technologické postupy při mikroobrábění. Zde student prokázal dostatečnou schopnost nalézt a použít odbornou literaturu a materiály týkající se dané problematiky. Student splnil zadání v plném rozsahu. Jednotlivé části práce uspořádal v logickém sledu tak, že na celkem 46 stranách tvoří ucelený a souvislý pohled na řešení zadané problematiky. Kvalita zpracování této bakalářské práce odpovídá požadovanému standardu. V úvodní části práce se student zabývá historií mikrosystémů a technikami mikroobrábění. Zde velmi oceňuji schopnost studenta pracovat s anglicky psanou literaturou a vyhledávat informace v odborných vědeckých článcích. V praktické části práce se student nejprve věnuje návrhu a simulaci základních struktur mikromechanických systémů v programu Coventorware a následně jejich výrobou. Použitou metodiku a získané výsledky student přehledně uvedl do grafických závislostí, obrázků a tabulek, které vhodně okomentoval. Formální zpracování diplomové práce je na velmi dobré úrovni. Jen jsem se musel pozastavit nad nevhodným řazením obrázků, které tak logicky neodpovídalo jejich výskytu v textu a na některých místech užití ich formy. U obrázků z mikroskopu by bylo vhodné pro lepší představu uvést měřítko a ne jen zvětšení. Podle mého názoru student Vojtěch Šalomoun vytvořil práci na velmi dobré úrovni. Práci doporučuji k obhajobě a klasifikuji ji hodnocením A/95 bodů.
eVSKP id 74212