ŠŤAVÍK, J. Měření náboje v dielektrických vrstvách [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2010.

Posudek vedoucího

Hégr, Ondřej

Student zpracoval bakalářskou práci na téma "Měření náboje v dielektrických vrstvách". Hlavním cílem bylo hledat možnosti identifikace a diagnostiky vázaného náboje ve velmi tenkých dielektrických vrstvách a nejvhodnější metodu měření potom realizovat. Klíčovou částí celé práce byla teoretická příprava a zpracování doporučené literatury, na jejímž základě měla být potom nejvhodnější metoda navržena. Tuto část práce student plnil samostatně a zvláště je třeba ocenit práci s anglickou literaturou. Praktická část je zaměřena na diagnostiku doporučených dielektrických vrstev, vytvořené na křemíkových substrátech magnetronovým naprašováním a vakuovým napařováním. Z technických důvodů bylo měření prováděno za omezených časových podmínek. Práce studenta je hodnocena ze dvou pohledů: na jedné straně je relativní zájem o problematiku a aktivita během daného období, kdy student pravidelně chodil na konzultace a řádně plnil zadané úkoly. Na stranu druhou je třeba zdůraznit ne zcela dostatečné zpracování a popsání získaných výsledků, kdy text práce byl psán poněkud chaoticky a není úplně navázán na teoretickou přípravu z první části bakalářské práce. To je ovšem částečně dáno výrazným časovým omezením, protože zadání práce a potažmo její řešení není triviální. Po formální stránce je práce na dobré úrovni. V celkovém hodnocení je zdůraznit náročnost práce, která je založena především na teoretických fyzikálních znalostech a analytického vyhodnocení získaných výsledků měření. Vypracovaná bakalářská práce představuje začátek rozsáhlejšího výzkumu vázaného náboje v dielektrických vrstvách, jehož výsledky budou implementovány do procesu výroby krystalických solárních článků.

Posudek oponenta

Boušek, Jaroslav

Posuzovaná práce byla řešena pro potřeby ústavu mikroelektroniky. Po seznámení s metodou měření C-V charakteristik mělo být sestaveno pracoviště pro jejich měření a měla být vypracována metodika pro zjišťování velikosti náboje v dielektrických vrstvách. Navržená metodika měla být otestována na různých typech pasivačních dielektrických vrstev křemíkových solárních článků. Pro úspěšné vyřešení zadání bylo nutné pracovat s poměrně velkým objemem literatury zahrnujícím problematiku z různých oborů. V posuzované práci bylo použito 11 literárních pramenů, které jsou důsledně citovány. Naproti tomu není uvedena citace ani u jednoho z převzatých obrázků v teoretické části práce. Text práce je vyvážený, s minimálním počtem chyb a překlepů. Po krátkém úvodu jsou v kapitole "2 Fotovoltaický článek" velmi stručně shrnuty základní pojmy z problematiky fotovoltaických článků a jejich výroby. Poměrně nevhodně je zde zařazena kapitola "2.4 Teorie vázaného náboje". Za ní, bez zřejmé návaznosti v textu, následuje kapitola "2.5. Technologie výroby a pasivace povrchu solárního článku" ( zde je v nadpisu je chyba: .. výrovy .. místo ..výroby.) Přípravě experimentů prováděných v rámci práce a jejich vyhodnocení je věnována kapitola "3 Současné metody měření vázaného náboje", kde je kromě měření pomocí C-V charakteristik popsána řada dalších metod. V kapitole "4 Praktická část" na stranách 33 až 43 je přehled provedených testů. Tato kapitola obsahuje řadu chyb a nepřesností, svědčících o tom, že práce byla dokončována v časové tísni: - tloušťky pasivačních vrstev u Al2O3 jsou místo v nm uváděny v µm, - u vzorků pasivačních vrstev SiNx nejsou tloušťky udány, - u naměřených C-V křivek jsou na osách uváděny pro kapacitu různé jednotky - jedná se však o stejné vzorky, takže naměřená kapacita se nemůže řádově lišit. Zadání práce bylo jen částečně splněno z hlediska požadavku vypracování metodiky pro zjišťování velikosti náboje v dielektrických vrstvách. Naproti tomu je nad rámec zadání v kapitole "3.4 Smáčení oxidových vrstev na křemíku a sledování vloženého náboje" pojednáno o možnosti měřit náboj vázaný ve vrstvách na základě smáčivosti a povrchového napětí. V kapitole "4.3. Smáčení oxidových vrstev" je pak popsán experiment provedený autorem práce na Masarykově Univerzitě. Z výsledků tohoto měření však nejsou o vlivu vázaného náboje vyvozeny jednoznačné závěry. Přeložená práce bezpochyby vyžadovala hodně tvůrčího úsilí a přesto, že dokončování práce bylo poznamenáno nedostatkem času, budou dosažené výsledky využitelné pro další rozvoj této metody na pracovišti. Práci proto doporučuji k obhajobě.

eVSKP id 32317