RADA, V. Tenkovrstvé systémy [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2022.
Pan Vojtěch Rada se ve své bakalářské práci zabýval tvorbou a vlastnostmi tenkovrstvých systémů. Vlastní práce je rozdělena do dvou základních částí. V teoretické shrnuje poznatky ze studia tvorby tenkých vrstev. Popisuje mechanizmy jejich vzniku, použitelnými a dostupnými technologiemi. Zdůrazněny jsou především vakuové metody, rozebrány hlavní faktory tvorby tenkovrstvých systémů Na základě zkušeností, získaných studiem literatura se věnoval výběru a hlavně úpravami substrátů. Popsány jsou fyzikální a chemické způsoby předúprav, které významně ovlivňují kvalitu budoucích vrstev. V této fázi zpracování bakalářské práce prokázal vysokou samostatnost a komunikační schopnost při častých konzultací s vedoucím práce. V druhé, experimentální části, byly práce ovlivněny násobnými poruchami zařízení a tím došlo k výraznému zkrácení času na tvorbu funkčních vrstev. Z tohoto pohledu se velmi kladně projevila pečlivost, uplatněná při studiu literatury a konzultacích s vedoucím práce. Po zprovoznění zařízení byly velmi rychle zhotoveny vzorky tenkovrstvých systémů a následně provedeny potřebné testy s využitím elektronového mikroskopu s prvkovou analýzou a zkoušky přilnavosti k substrátům atd. Zde se uplatnila dobrá spolupráce s ostatními studenty. Práce je zpracována svědomitě a přehledně, bez pravopisných chyb. Výsledky, i přes objektivní potíže se zařízením, jsou velmi dobré a jsou dobrým základem pro další práce v oblasti tenkých vrstev. Zadání bakalářské práce bylo splněno a doporučuji její přijetí k obhajobě.
Bakalářská práce pana Rady je zaměřena na vytváření tenkovrstvých systémů vakuovými metodami, především magnetronovým naprašováním. V teoretické části práce jsou uvedeny metody přípravy tenkých vrstev jak fyzikálními, tak chemickými metodami a dále je pozornost věnována přípravným procesům úpravy substrátů a analýze tenkých vrstev. Pan Rada se zpočátku zaměřil na výběr substrátů z hlediska možnosti využití ve vakuové technice. Jako substráty pro nanesení tenké vrstvy vybral korundovou keramiku, křemíkový wafer doplněný o skleněné materiály. Nejprve byly substráty očištěny a to jednak chemicky pomocí ethylalkoholu a propylalkoholu a dále plazmatickým čištěním přímo v naprašovacím zařízení. V rámci této práce vytvořil student na všech vzorcích tenkovrstvou sendvičovou strukturu složenou ze tří vrstev Cu-Ti_Cu. V poslední části práce byly analyzovány základní parametry nanesených vrstev, jejich tloušťka, topologie a adheze. Práce má celkem 57 stran a dobrou grafickou úroveň. Je dobře čitelná bez většího počtu pravopisných chyb. Práci doporučuji přijmout k obhajobě.
eVSKP id 142755