Now showing items 1-1 of 1

  • Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Al 

    Řihák, Radek
    Tato bakalářská práce se zabývá návrhem efuzní cely pro tvorbu ultrathenkých vrstev hliníku v podmínkách ultravysokého vakua. Byly navrhnuty dvě varianty lišící se typem ohřevu. První využívá energie urychlených elektronů, ...