Now showing items 1-20 of 34

  • 2D a 3D analýza polovodičových struktur metodou SIMS 

    Vařeka, Karel
    Chemická analýza polovodičových struktur pomocí metody SIMS je hlavní náplní této bakalářské práce. Umožňuje hloubkové profilování a vytváření 2D či 3D snímků materiálů. Během zkoumání čipu z polovodiče TIGBT dochází k ...
  • Analýza a modifikace tenkých vrstev pomocí iontových svazků 

    Jonner, Jakub
    Tato diplomová práce se zabývá analýzou a modifikací tenkých vrstev pomocí iontových svazků. První část diplomové práce nabízí úvod do teorie interakce iontů s pevnou látkou. Druhá část diplomové práce se věnuje hmotnostní ...
  • Analýza bipolárních tranzistorů s izolovaným hradlem 

    Karlovský, Juraj
    Táto práca sa zaoberá výberom a optimalizáciou vhodných analytických metód pre charakte-rizáciu TIGBT (Trench Insulated Gate Bipolar Transistor, bipolárny tranzistor s izolovaným trench hradlom) štruktúr s použitím metód ...
  • Analýza GMR heterostruktur metodou SIMS 

    Mitáš, Martin
    Studium vlivu depozičních parametrů na GMR heterostruktury metodou SIMS.
  • Analýza pokročilých materiálů a struktur metodou SIMS 

    Holeňák, Radek
    Bakalářská práce se zabývá studiem pokročilých materiálů metodou SIMS a možnostem kvantitativní analýzy pomocí dat získaných z měření. Byla provedena chemická analýza povrchu keramiky s cílem optimalizace podmínek měření. ...
  • Analýza ultratenkých vrstev metodami SIMS a TOF-LEIS 

    Duda, Radek
    Studium možností hloubkového profilování vrstev kombinací metod SIMS a TOF-LEIS.
  • Atomární struktura povrchu FeRh(001) 

    Ondračka, Václav
    Slitina železo-rhodia, Fe50Rh50, vykazuje nízkoteplotní metamagnetickou přeměnu z antiferomagnetické na feromagnetickou fázi. Detailní popis této přeměny pomocí nástrojů povrchové analýzy nebyl dosud proveden. Tato bakalářská ...
  • Automatizace vyhodnocování dat TDS 

    Badin, Viktor
    Tato práce se zabývá automatizací vyhodnocování dat termální desorpční spektroskopie (TDS). Teoretická část pojednává o procesích adsorpce a desorpce atomů a molekul a teplotní závislosti desorpce. Součástí práce je také ...
  • Diagnostika a optimalizace parametrů Wienova filtru pro hmotnostní separaci 

    Joch, Vítězslav
    Tato bakalářská práce se zabývá stanovením základních parametrů Wienova filtru pro hmotnostní separaci fokusovaného iontového svazku. Dále se práce zabývá hledáním vhodných provozních parametrů iontového děla pro depozici ...
  • Hloubkové profilování multivrstev metodou LEIS 

    Strapko, Tomáš
    Diplomová práce se zabývá vytvořením modelu, který by umožnil lepší interpretaci hloubkových profilů měřených metodou LEIS. Obtížnost interpretace těchto profilů je dána vysokým podílem vícenásobně odražených projektilů v ...
  • Kalibrace metody SIMS pomocí implantačních profilů 

    Janák, Marcel
    Táto bakalárska práca je zameraná na kvantitatívnu analýzu zastúpenia dopantov (C, H, Mg, O) v tranzistoroch AlGaN HEMT, vyrábaných metódou MOCVD, pomocou zariadenia TOF.SIMS 5 s céziovým a kyslíkovým odprašovaním. Dôvodom ...
  • Komparativní spektrální analýza metodami ESA–LEIS a TOF–LEIS 

    Strapko, Tomáš
    Tato bakalářská práce pojednává o celkovém průběhu LEIS experimentu s cílem získat křivku reionizace: přes konstrukční úpravu původního přístroje SARS, sestavení i elektrické zapojení LEIS vůbec a měření energetického ...
  • Kompenzace teplotního driftu při analýze nanostruktur 

    Hakira, Stanli
    Ve spolupráci mezi firmou Tescan a Ústavem fyzikálního inženýrství fakulty Strojního inženýrství je vyvíjena ultravakuová aparatura pro experimenty v nanotechnologii. Komora je navržena na přípravu, modifikaci a analýzu ...
  • Komplexní iontová analýza složení antikorozních vrstev 

    Holeňák, Radek
    Předložená diplomová práce se zabývá implementací metody rentgenové emisne indukované částicemi do experimentálního uspořádání za účelem doplnění rodiny metod založených na iontových technikách, tj. Rutherfordovy zpětné ...
  • Kvantitativní analýza matricových prvků metodami SIMS a LEIS 

    Staněk, Jan
    Tato práce se zabývá porovnáváním a propojením dvou spektrometrických metod – spektrometrie rozptylu nízkoenergiových iontů (LEIS) a hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů (SIMS). Metoda SIMS totiž, přes mnoho pozitivních ...
  • Leptání SiO2 pomocí depozice Si 

    Pokorný, David
    Tato bakalářská práce se zabývá jednou z nejzajímavějších reakcí probíhajících v pevné fázi v UHV podmínkách, a to rozkladem SiO2 podle rovnice Si + SiO2 = 2SiO. Využívá dosud nevyzkoušený postup - dodání Si atomů nikoli ...
  • Mikroobrábění nekovových materiálů elektronovým svazkem 

    Dupák, Libor
    Práce se zabývá problematikou mikroobrábění elektronovým svazkem s důrazem na nekovové materiály jako sklo, keramika a plasty. Součástí práce je popis zařízení, na kterém byly provedeny experimenty uvedené v této práci a ...
  • Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování 

    Páleníček, Michal
    Tato bakalářská práce se zabývá návrhem a realizací aparatury umožňující zakládání vzorků do vakua bez nutnosti zavzdušnění depoziční komory. Jsou diskutovány teoretické základy vakuových technologií. Dále je práce zaměřena ...
  • Modernizace UHV manipulátoru pro metody SIMS a LEIS 

    Dao, Tomáš
    Tato bakalářská práce pojednává o konstrukci manipulátoru pracujícího v podmínkách ultravysokého vakua. První část práce je věnována původnímu návrhu manipulátoru se šesti stupni volnosti, jeho provedení a realizaci. Druhá ...
  • Návrh detektoru sekundárních elektronů pro ultravakuový elektronový mikroskop 

    Skladaný, Roman
    V této diplomové práci je představen konstrukční návrh tubusového detektoru sekundárních elektronů (SE). Jedná se o ultravakuově kompatibilní scintilační vláknový detektor určený pro použití v ultravakuovém rastrovacím ...