Now showing items 1-16 of 16

  • Analýza a modifikace tenkých vrstev pomocí iontových svazků 

    Jonner, Jakub
    Tato diplomová práce se zabývá analýzou a modifikací tenkých vrstev pomocí iontových svazků. První část diplomové práce nabízí úvod do teorie interakce iontů s pevnou látkou. Druhá část diplomové práce se věnuje hmotnostní ...
  • Analýza bipolárních tranzistorů s izolovaným hradlem 

    Karlovský, Juraj
    Táto práca sa zaoberá výberom a optimalizáciou vhodných analytických metód pre charakte-rizáciu TIGBT (Trench Insulated Gate Bipolar Transistor, bipolárny tranzistor s izolovaným trench hradlom) štruktúr s použitím metód ...
  • Atomární struktura povrchu FeRh(001) 

    Ondračka, Václav
    Slitina železo-rhodia, Fe50Rh50, vykazuje nízkoteplotní metamagnetickou přeměnu z antiferomagnetické na feromagnetickou fázi. Detailní popis této přeměny pomocí nástrojů povrchové analýzy nebyl dosud proveden. Tato bakalářská ...
  • Automatizace vyhodnocování dat TDS 

    Badin, Viktor
    Tato práce se zabývá automatizací vyhodnocování dat termální desorpční spektroskopie (TDS). Teoretická část pojednává o procesích adsorpce a desorpce atomů a molekul a teplotní závislosti desorpce. Součástí práce je také ...
  • Kompenzace teplotního driftu při analýze nanostruktur 

    Hakira, Stanli
    Ve spolupráci mezi firmou Tescan a Ústavem fyzikálního inženýrství fakulty Strojního inženýrství je vyvíjena ultravakuová aparatura pro experimenty v nanotechnologii. Komora je navržena na přípravu, modifikaci a analýzu ...
  • Leptání SiO2 pomocí depozice Si 

    Pokorný, David
    Tato bakalářská práce se zabývá jednou z nejzajímavějších reakcí probíhajících v pevné fázi v UHV podmínkách, a to rozkladem SiO2 podle rovnice Si + SiO2 = 2SiO. Využívá dosud nevyzkoušený postup - dodání Si atomů nikoli ...
  • Modernizace UHV manipulátoru pro metody SIMS a LEIS 

    Dao, Tomáš
    Tato bakalářská práce pojednává o konstrukci manipulátoru pracujícího v podmínkách ultravysokého vakua. První část práce je věnována původnímu návrhu manipulátoru se šesti stupni volnosti, jeho provedení a realizaci. Druhá ...
  • Návrh manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop 

    Caesar, Radek
    Hlavním cílem této bakalářské práce je návrh konstrukce manipulátoru pro ultravakuový elektronový mikroskop (UHV SEM), který je v současné době vyvíjen firmou TESCAN ve spolupráci s Ústavem fyzikálního inženýrství FSI VUT. ...
  • Návrh nového termálního disociačního zdroje kyslíkových atomů 

    Šikula, Marek
    Pomocí atomárních zdrojů kyslíku se vyrábí a studují ultratenké oxidové vrstvy, především tzv. high-k vrstvy. Ty jsou základem CMOS tranzistorů a DRAM kondenzátorů. Tato práce zpracovává teorii atomárních svazků kyslíku a ...
  • Návrh zdroje atomů uhlíku pro přípravu grafenových vrstev v UHV 

    Čalkovský, Vojtěch
    Tato bakalářská práce se zabývá návrhem atomárního zdroje uhlíku pro přípravu grafenových vrstev v podmínkách ultravysokého vakua. V první části je stručně popsána problematika růstu epitaxních vrstev, teorie atomárních ...
  • Neutralizace náboje na povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem 

    Kejík, Lukáš
    Bakalářská práce se zabývá možnostmi neutralizace povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem. V práci byly navrženy tři varianty neutralizačních paletek. Všechny varianty byly otestovány a byly provedeny ...
  • Optimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot 

    Axman, Tomáš
    Předkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací ultravakuového elektronového mikroskopu – UHV SEM, který je vyvíjen v rámci projektu Amispec ve spolupráci VUT, ÚPT AV ČR a firmy Tescan Brno, s.r.o. Teoretická část se ...
  • Příprava grafenových vrstev metodou MBE 

    Čalkovský, Martin
    Tato bakalářská práce se zabývá tvorbou grafenových struktur metodou molekulární svazkové epitaxe (MBE). V teoretické části je stručně popsán materiál grafen, jeho vlastnosti, možnosti výroby a způsoby detekce. Detailněji ...
  • Studium katalytické dekompozice oxidu křemičitého 

    Štubian, Martin
    Táto práca sa zoberá štúdiom reakcie katalytickej dekompozície kremíka použitím elektrónovej mikroskopie a Augerovej spektroskopie. Práca je zameraná primárne na štúdiom fázy Au-Si, ktorá pri reakcii vzniká. V teoretickej ...
  • Testování prototypu UHV rastrovacího elektronového mikroskopu a konstrukce jeho efuzní cely 

    Šárközi, Rudolf
    Táto práca sa zaoberá vývojom a návrhom efúznej cely umožňujúcej depozíciu rôznych materiálov smerom nadol. Cela bude umiestnená v ultravákuovom elektrónovom mikroskope (UHV-SEM) vyvíjanom vo firme TESCAN v spolupráci s ...
  • Vývoj nosiče vzorků pro měření elektrických vlastností v UHV SEM 

    Axman, Tomáš
    Tato bakalářská práce se zabývá konstrukcí a následným testováním nosiče vzorků umožňující ohřev, chlazení a měření teploty vzorku a zásobníku vzorků pro vysokovakuovou aparaturu skenovacího elektronového mikroskopu, který ...