Now showing items 1-5 of 5

  • Characterization Of Electrical Properties Of Graphene-Based Materials On Mems Structures 

    Brodský, Jan (Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, 2019)
    This work presents characterization of basic electrical properties of graphene and graphene oxide. Graphene was prepared by chemical reduction of graphene oxide. The experimental part of this work describes the process of ...
  • Charakterizace elektrických vlastností grafenu na MEMS strukturách 

    Brodský, Jan
    Tato práce popisuje základní vlastnosti grafenu, možnosti jeho syntézy a charakterizace pomocí Ramanovy spektroskopie, dvoubodového a čtyřbodového měření a van der Pauwovy metody. V praktické části je popsán postup vytvoření ...
  • Infinite selectivity of wet SiO2 etching in respect to Al 

    Gablech, Imrich; Brodský, Jan; Pekárek, Jan; Neužil, Pavel (MDPI, 2020-03-31)
    We propose and demonstrate an unconventional method suitable for releasing microelectromechanical systems devices containing an Al layer by wet etching using SiO2 as a sacrificial layer. We used 48% HF solution in combination ...
  • Senzory plynů založené na 1D a 2D materiálech 

    Brodský, Jan
    V této práci jsou popsány obecné vlastnosti základních senzorů plynů, zaměřuje se zejména na chemorezistivní typ a chemicky citlivý unipolární tranzistor, kterým se dále věnuje v praktické části. Dále popisuje vlastnosti ...
  • Simple and efficient AlN-based piezoelectric energy harvesters 

    Gablech, Imrich; Klempa, Jaroslav; Pekárek, Jan; Vyroubal, Petr; Hrabina, Jan; Holá, Miroslava; Kunz, Jan; Brodský, Jan; Neužil, Pavel (MDPI, 2020-01-28)
    In this work, we demonstrate the simple fabrication process of AlN-based piezoelectric energy harvesters (PEH), which are made of cantilevers consisting of a multilayer ion beam-assisted deposition. The preferentially (001) ...