Browsing by Author "Kiška, Roman"
Now showing items 1-1 of 1
-
Depozice a charakterizace tenkých vrstev a jejich analýza za pomoci skenovací elektronové mikroskopie
Kiška, RomanTato práce se zabývá metodami nanášení tenkých vrstev, a to zejména metodou PVD a CVD. Součástí práce byla i experimentální část, kde byly nedeponovány dva vzorky metodou magnetronového naprašování a nanášením z plynné ...