Now showing items 1-6 of 6

  • Field emission properties of polymer graphite tips prepared by membrane electrochemical etching 

    Knápek, Alexandr; Dallaev, Rashid; Burda, Daniel; Sobola, Dinara; Allaham, Mohammad; Horáček, Miroslav; Kaspar, Pavel; Matějka, Milan; Mousa, Marwan (MDPI, 2020-07-01)
    This paper investigates field emission behavior from the surface of a tip that was prepared from polymer graphite nanocomposites subjected to electrochemical etching. The essence of the tip preparation is to create a ...
  • Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes 

    Matějka, Milan; Krátký, Stanislav; Říháček, Tomáš; Knápek, Alexandr; Kolařík, Vladimír (Sciendo, 2020-05-13)
    The paper describes the development and production of a nano-optical device consisting of a nano-perforated layer of silicon nitride stretched in a single-crystal silicon frame using electron beam lithography (EBL) and ...
  • Pozorování izolantů v ESEM 

    Matějka, Milan
    Diplomová práce se v teoretické části zabývá principem a problematikou detekce signálních elektronů v rastrovací elektronové mikroskopii a problematikou projevů nabíjení izolačních vzorků. V experimentální části je popsána ...
  • Studium vlastností periodických mřížek vytvořených elektronovou litografii 

    Krátký, Stanislav
    Tato práce se zabývá procesem tvorby reliéfních periodických struktur pomocí elektronové litografie. Popisuje, jak navrhnout tyto struktury pomocí počítače a následně je vytvořit elektronovým litografem. Dále se zabývá ...
  • Technologie leptání křemíku 

    Krátký, Stanislav
    Tato práce se zabývá technologií mokrého a suchého leptání křemíku. Zkoumá se použití vodného roztoku hydroxidu draselného. V suchých technikách se práce zaměřuje na plazmatické leptání křemíku směsí CF4+O2. U obou leptacích ...
  • Technologie přípravy hlubokých struktur v submikronovém rozlišení 

    Matějka, Milan
    Disertační práce je zaměřena na výzkum a vývoj v oblasti vytváření mikrostruktur technologií elektronové litografie. V úvodní části je provedena rozsáhlá studie technologie elektronové litografie z pohledu fyzikálních ...