Now showing items 1-10 of 10

  • Aplikace fokusovaného iontového a elektronového svazku v nanotechnologiích 

    Šamořil, Tomáš
    Systémy pracující současně s fokusovanými elektronovými a iontovými svazky jsou v dnešní době velmi důležitými nástroji v oblasti mikro- a nanotechnologií. Kromě zobrazování a analýzy vzorků je lze rovněž využít k litografii, ...
  • Charakterizace struktur připravených selektivním mokrým leptáním křemíku 

    Metelka, Ondřej
    Úkolem diplomové práce bylo provedení optimalizace procesu přípravy kovové leptací masky pomocí elektronové litografie a následného selektivního mokrého leptání křemíku s krystalografickou orientací (100). Dále byla provedena ...
  • Depozice Ga nanostruktur na grafenové membrány 

    Severa, Jiří
    Tato diplomová práce se zabývá přípravou grafenových membrán pro depozici atomů galliametodou molekulární svazkové epitaxe. V první části jsou nejprve popsány vlastnostigrafenu a metody jeho výroby. Druhá část je zaměřena ...
  • Integrace nanostruktur do funkčních celků 

    Citterberg, Daniel
    Táto diplomová práca je zameraná na charakterizáciu elektrických transportných vlastností polovodičových jednorozmerných nanoštruktúr. Prvá časť práce sa venuje teoretickému popisu možností určenia charakteristických ...
  • Kombinovaná elektronová litografie 

    Krátký, Stanislav
    Tato práce se zabývá reliéfní elektronovou litografií a přípravou difrakčních optických elementů. Řešena jsou tři témata. Prvním tématem je reliéfní kombinovaná elektronová litografie, kde je cílem zkombinovat expozice ...
  • Microdefects in Czochralski Silicon 

    Válek, Lukáš
    Disertační práce se zabývá studiem defektů v monokrystalech Czochralskiho křemíku legovaných bórem. Práce studuje vznik kruhových obrazců vrstevných chyb pozorovaných na povrchu křemíkových desek po oxidaci. Hlavním cílem ...
  • Rozšíření analyzátoru stylových předpisů CSS3 

    Mikulík, Petr
    Práce rozšiřuje již existující open source projekt CSSBox přidáním podpory parseru jStyleParser o nové CSS3 vlastnosti. Konkrétně byla přidána podpora pro efekt stínu elementu, dále mřížkové rozložení a nakonec CSS animace ...
  • Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek 

    Ředina, Dalibor
    Deionizovaná ozonovaná voda neboli tzv. DIO3 se zdá být vhodnou alternativou pro použití v polovodičovém průmyslu. Užití DIO3 při odstraňování fotorezistu z křemíkových desek je rychlejší, levnější a šetrnější k životnímu ...
  • Vytváření nanostruktur na površích pevných látek hybridními metodami 

    Rudolfová, Zdena
    Tato práce se zabývá studiem vlastností GaAs povrchu a metodikou nanášení kovových (převážně zlatých) nanočástic na GaAs substrát. GaAs má složitou strukturu povrchových oxidů, které jsou při kontaktu s různými chemickými ...
  • Výroba polovodičových součástek na křemíku 

    Ježek, Vladimír
    Předkládaná práce se zabývá problematikou základních technologií a procesů pro výrobu polovodičových součástek na křemíkovém substrátu. Uvádí procesy vytváření vrstvy oxidu křemičitého pomocí oxidace, vytváření struktur ...