Browsing by Author "Páleníček, Michal"
Now showing items 1-5 of 5
-
Adaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostruktur
Skladaný, RomanV této bakalářské práci je představeno konstrukční řešení ochrany objektivu ultra vakuového rastrovacího elektronového mikroskopu (UHV SEM), který je součástí komplexní modulární UHV aparatury používané k tvorbě, pozorování ... -
Detekce a studium krystalových defektů v Si deskách pro elektroniku
Páleníček, MichalTato diplomová práce se zabývá studiem a vyhodnocováním krystalografických defektů na povrchu křemíkových desek vyrobených Czochralského metodou. Zaměřuje se především na růstové defekty a kyslíkové precipitáty, které hrají ... -
Kompenzace teplotního driftu při analýze nanostruktur
Hakira, StanliVe spolupráci mezi firmou Tescan a Ústavem fyzikálního inženýrství fakulty Strojního inženýrství je vyvíjena ultravakuová aparatura pro experimenty v nanotechnologii. Komora je navržena na přípravu, modifikaci a analýzu ... -
Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování
Páleníček, MichalTato bakalářská práce se zabývá návrhem a realizací aparatury umožňující zakládání vzorků do vakua bez nutnosti zavzdušnění depoziční komory. Jsou diskutovány teoretické základy vakuových technologií. Dále je práce zaměřena ... -
Sestavení a testování nízkoteplotního mikroskopu STM
Sojka, AntonínBakalářská práce se zabývá sestavením nízkoteplotního rastrovacího tunelového mikroskopu STM pracujícího v podmínkách ultravysokého vakua (UHV). Práce pojednává o propojení mikroskopu s elektronikou. Je popsán návrh ...