Now showing items 1-5 of 5

  • Adaptace aparatury UHV SEM pro tvorbu a charakterizaci nanostruktur 

    Skladaný, Roman
    V této bakalářské práci je představeno konstrukční řešení ochrany objektivu ultra vakuového rastrovacího elektronového mikroskopu (UHV SEM), který je součástí komplexní modulární UHV aparatury používané k tvorbě, pozorování ...
  • Detekce a studium krystalových defektů v Si deskách pro elektroniku 

    Páleníček, Michal
    Tato diplomová práce se zabývá studiem a vyhodnocováním krystalografických defektů na povrchu křemíkových desek vyrobených Czochralského metodou. Zaměřuje se především na růstové defekty a kyslíkové precipitáty, které hrají ...
  • Kompenzace teplotního driftu při analýze nanostruktur 

    Hakira, Stanli
    Ve spolupráci mezi firmou Tescan a Ústavem fyzikálního inženýrství fakulty Strojního inženýrství je vyvíjena ultravakuová aparatura pro experimenty v nanotechnologii. Komora je navržena na přípravu, modifikaci a analýzu ...
  • Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování 

    Páleníček, Michal
    Tato bakalářská práce se zabývá návrhem a realizací aparatury umožňující zakládání vzorků do vakua bez nutnosti zavzdušnění depoziční komory. Jsou diskutovány teoretické základy vakuových technologií. Dále je práce zaměřena ...
  • Sestavení a testování nízkoteplotního mikroskopu STM 

    Sojka, Antonín
    Bakalářská práce se zabývá sestavením nízkoteplotního rastrovacího tunelového mikroskopu STM pracujícího v podmínkách ultravysokého vakua (UHV). Práce pojednává o propojení mikroskopu s elektronikou. Je popsán návrh ...