Now showing items 1-4 of 4

  • Charakterizace elektronové trysky 

    Horák, Michal
    Práce se zabývá problematikou elektronových zdrojů a elektronově optických systémů. Teoretická část se věnuje odvození vlastností elektrostatických a magnetických čoček, jejich vadám a programům používaných k simulacím v ...
  • Elektrostatické vychylovací a korekční systémy 

    Badin, Viktor
    Tato diplomová práce se věnuje prozkoumání možností dynamické korekce vad v elektronové litografii. Pro výpočty byl zvolen elektronový litograf BS600. Práce se zabývá korekcí vad vychýlení třetího řádu: zklenutí pole, ...
  • Studium elektronově optických systémů s porušenou rotační symetrií 

    Horák, Michal
    Tato práce se zabývá výpočty magnetické čočky, jejíž pólový nástavec má kvůli nepřesnostem ve výrobě porušenou rotační symetrii. Jsou diskutovány dva možné způsoby výpočtů - užití poruchové teorie a 3D výpočty. Jsou ...
  • Tolerances and Misalignment Aberrations for Electron Optical Elements and Systems 

    Sháněl, Ondřej
    Nepřesnosti při výrobě a sestavení rotačně souměrné čočky a deflektrou a jejich přesného zařazení do elektronově optického systému se projeví jako dodatečné pole příslušné symetrie, které deformuje ideální zobrazení. Tato ...