Browsing by Subject "ION SPUTERING"
Now showing items 1-1 of 1
-
Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování
Tato bakalářská práce se zabývá návrhem a realizací aparatury umožňující zakládání vzorků do vakua bez nutnosti zavzdušnění depoziční komory. Jsou diskutovány teoretické základy vakuových technologií. Dále je práce zaměřena ...