Browsing by Subject "depozice z plynné fáze"
Now showing items 1-2 of 2
-
Kvalifikace depoziční pece
Tato práce je zaměřena na problém nastavení CVD pece pro produkci ve výrobním závodu. Problém je, že přesná zařízení jako depoziční pece musíbýt pro produkci nastaveny až na místě, kde budou provozovány. Toho je možno ... -
Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity
Cílem této práce je seznámit čtenáře se základními technologickými operacemi výroby MEMS (Mikro-elektro-mechanických systémů). Dále jsou v této práci zmíněny vlastnosti a výroba CNTs (uhlíkových nanotrubic), které jsou ...