Now showing items 1-2 of 2

  • Návrh aparatury pro VF plasmové leptání 

    Bárdy, Stanislav
    Táto bakalárska práca sa zaoberá návrhom aparatúry na vysokofrekvenčnú (VF) indukčne viazanú plazmu. V teoretickej časti je rešerne spracované čistenie grafénových povrchov plazmovým leptaním, ďalej sú popísané metódy ...
  • Příprava mikro- a nanostruktur pomocí rozdílných leptacích metod 

    Těšík, Jan
    Selektivní leptání je v současnosti velmi používanou metodou pro přípravu mikro- a nanostruktur. Tato bakalářská práce se zabývá principy těchto leptacích metod, jejich aplikacemi a také možnostmi suchého a mokrého leptání ...