Browsing by Subject "inductively coupled plasma"
Now showing items 1-4 of 4
-
Analýza parametrů podávání práškových materiálů v technologii RF-ICP
Práce je zaměřena na technologii radiofrekvenčního indukčně vázaného plazmatu, která se používá na depozici vrstev. V rámci práce jsme se zaměřili na dva cíle. První se zaobíral problematikou práškového podavače pracujícího ... -
Depozice wolframových vrstev pomocí technologie RF-ICP
Hlavním objektem této práce je technologie radiofrekvenčně řízeného indukčně vázaného plazmatu, zkr. RF-ICP. Konkrétním cílem práce bylo nanesení povrchových vrstev wolframu a analýza vlivu změny podmínek procesu na výslednou ... -
Návrh aparatury pro VF plasmové leptání
Táto bakalárska práca sa zaoberá návrhom aparatúry na vysokofrekvenčnú (VF) indukčne viazanú plazmu. V teoretickej časti je rešerne spracované čistenie grafénových povrchov plazmovým leptaním, ďalej sú popísané metódy ... -
Optimalizace tavení jako rozkladného procesu pro analýzu materiálů
Tavení je proces, při kterém dochází k rozpuštění částic vzorku v tavidle. Toho se využívá pro rozklad látek, které se za standardních podmínek nerozloží v kyselině. Například křemík, který je podstatnou částí cementu, se ...