Browsing by Subject "leptanie PMMA"
Now showing items 1-1 of 1
-
Návrh aparatury pro VF plasmové leptání
Táto bakalárska práca sa zaoberá návrhom aparatúry na vysokofrekvenčnú (VF) indukčne viazanú plazmu. V teoretickej časti je rešerne spracované čistenie grafénových povrchov plazmovým leptaním, ďalej sú popísané metódy ...