Now showing items 1-7 of 7

  • 2D a 3D analýza polovodičových struktur metodou SIMS 

    Vařeka, Karel
    Chemická analýza polovodičových struktur pomocí metody SIMS je hlavní náplní této bakalářské práce. Umožňuje hloubkové profilování a vytváření 2D či 3D snímků materiálů. Během zkoumání čipu z polovodiče TIGBT dochází k ...
  • Analýza nanostruktur metodou ToF-LEIS 

    Duda, Radek
    Předložená práce pojednává o využití analytické metody TOF-LEIS v oblasti výzkumu nanostruktur. Touto metodou byl stanoven nový postup pro hloubkové profilování prvkového složení vzorku, který je založen na střídavém měření ...
  • Aplikace fokusovaného iontového a elektronového svazku v nanotechnologiích 

    Šamořil, Tomáš
    Systémy pracující současně s fokusovanými elektronovými a iontovými svazky jsou v dnešní době velmi důležitými nástroji v oblasti mikro- a nanotechnologií. Kromě zobrazování a analýzy vzorků je lze rovněž využít k litografii, ...
  • Návrh iontového zdroje pro odprašování 

    Glajc, Petr
    Tato bakalářská práce se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje. Jejím cílem je navrhnout iontový zdroj se sedlovým polem pro odprašování. Inovací ve vypracovaném návrhu je kombinace klasického válcově symetrického ...
  • Studium lokálně modifikovaných povrchů pro selektivní růst kobaltu 

    Krajňák, Tomáš
    V této práci se pomocí metody rentgenové fotoelektronové spektroskopie určovala chemická analýza křemíkových substrátů s orientací (1 1 1). Byly využity přístroje XPS Kratos Supra a elektronový mikroskop Tescan LYRA3 s ...
  • Testování a optimalizace iontového zdroje 

    Glajc, Petr
    V diplomové práci je detailně popsán proces testování iontového zdroje se sedlovým polem doplněný nejdůležitějšími výsledky experimentů. Mezi ně lze zařadit měření příčného profilu proudu iontového svazku a energiového ...
  • Tvorba nanostruktur pomocí fokusovaného iontového svazku 

    Bartoš, Radko
    Tato bakalářské práce se zabývá problematikou obrábění iontovým svazkem. Jsou představeny přístroje, které se pro tuto metodu používají, a možnosti různých druhů nastavení počátečních podmínek, které mají za následek odlišný ...