Now showing items 1-1 of 1

  • Návrh aparatury pro VF plasmové leptání 

    Bárdy, Stanislav
    Táto bakalárska práca sa zaoberá návrhom aparatúry na vysokofrekvenčnú (VF) indukčne viazanú plazmu. V teoretickej časti je rešerne spracované čistenie grafénových povrchov plazmovým leptaním, ďalej sú popísané metódy ...