Užití CAD systémů pro návrh MEMS

Lazar, Jaroslav

CAD systems for MEMS design

Grade

Altmetrics

Metadata

Show full item record

Abstract

Práce se zabývá CAD návrhovými nástroji pro MEMSy. První část je věnována popisu a definování pojmu MEMS a jeho základních částí. Další úsek se zabývá popisem jednotlivých metod pro výrobu MEMSů. Poslední část popisuje vybrané CAD návrhové nástroje, jejich moduly a funkce. V závěru jsou jednotlivé systémy srovnány, zhodnoceny a určena vhodnost jejich použití. Dále je zde uveden význam a výhody MEMSů.

This thesis deals with CAD design tools for MEMS. First part describes and defines MEMS and its basic components. This is followed by a description of methods used to manufacture MEMS. The last part deals with particular CAD design tools, their modules and functions. Mentioned systems are then compared, reviewed and appropriate usage for each of them is suggested. Then the importance and advantages of MEMS are disccussed.

Keywords

MEMS, mikroelektromechanické systémy, CAD návrhové nástroje, MEMS, microelectromechanical systems, CAD design tools

Language

čeština (Czech)

Study brunch

Strojní inženýrství

Composition of Committee

doc. Ing. Pavel Mazal, CSc. (předseda) prof. RNDr. Ing. Josef Nevrlý, CSc. (místopředseda) doc. Ing. David Paloušek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Martin Hartl, Ph.D. (člen) Ing. Pavel Svoboda, CSc. (člen)

Date of defence

2009-06-16

Process of defence

Result of the defence

práce byla úspěšně obhájena

Persistent identifier

http://hdl.handle.net/11012/10079

Source

LAZAR, J. Užití CAD systémů pro návrh MEMS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009.

Collections

2009 [579]