Užití CAD systémů pro návrh MEMS
CAD systems for MEMS design
Author
Advisor
Hartl, MartinReferee
Paloušek, DavidGrade
BAltmetrics
Metadata
Show full item recordAbstract
Práce se zabývá CAD návrhovými nástroji pro MEMSy. První část je věnována popisu a definování pojmu MEMS a jeho základních částí. Další úsek se zabývá popisem jednotlivých metod pro výrobu MEMSů. Poslední část popisuje vybrané CAD návrhové nástroje, jejich moduly a funkce. V závěru jsou jednotlivé systémy srovnány, zhodnoceny a určena vhodnost jejich použití. Dále je zde uveden význam a výhody MEMSů. This thesis deals with CAD design tools for MEMS. First part describes and defines MEMS and its basic components. This is followed by a description of methods used to manufacture MEMS. The last part deals with particular CAD design tools, their modules and functions. Mentioned systems are then compared, reviewed and appropriate usage for each of them is suggested. Then the importance and advantages of MEMS are disccussed.
Keywords
MEMS, mikroelektromechanické systémy, CAD návrhové nástroje, MEMS, microelectromechanical systems, CAD design toolsLanguage
čeština (Czech)Study brunch
Strojní inženýrstvíComposition of Committee
doc. Ing. Pavel Mazal, CSc. (předseda) prof. RNDr. Ing. Josef Nevrlý, CSc. (místopředseda) doc. Ing. David Paloušek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Martin Hartl, Ph.D. (člen) Ing. Pavel Svoboda, CSc. (člen)Date of defence
2009-06-16Process of defence
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaPersistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/10079Source
LAZAR, J. Užití CAD systémů pro návrh MEMS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009.Collections
- 2009 [579]