Návrh a konstrukce efuzní cely pro přípravu ultratenkých vrstev
Design and Construction of an Effusion Cell for Growth of Ultrathin Layers
Author
Advisor
Mach, JindřichReferee
Voborný, StanislavGrade
BAltmetrics
Metadata
Show full item recordAbstract
Tato bakalářská práce se zabývá návrhem, vyhotovení výkresové dokumentace a konstrukcí efuzní cely pro přípravu ultratenkých vrstev různých materiálů v prostředí ultravysokého vakua. Po vyrobení součástí a smontování efuzní cely byla umístěny do ultra vakuové komory (p ~ 10-5 Pa), kde byla provedena první testovací depozice ultratenké vrstvy stříbra na Si (111). Tento vzorek byl analyzován rentgenovou fotoelektronovou spektroskopii a atomovou silovou mikroskopii. This Bachelor's work deals with the design, documentation and construction of effusion cell for deposition of ultrathin layers of various materials in conditions of ultrahigh vacuum. After fabrication and assemblage the effusion cell was placed to an ultrahigh vacuum chamber (p ~ 10-5 Pa) where the first testing deposition of a silver ultrathin film on Si (111) substrate was performed. This sample was studied by X-ray photoelectron spectroscopy and atomic force microscopy.
Keywords
atomární zdroj, efuzní cela, UHV konstrukce, ultratenké vrstvy, atomic source, effusion cell, UHV design, ultrathin layersLanguage
čeština (Czech)Study brunch
Fyzikální inženýrstvíComposition of Committee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)Date of defence
2009-06-18Process of defence
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaPersistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/10756Source
KŘÁPEK, O. Návrh a konstrukce efuzní cely pro přípravu ultratenkých vrstev [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009.Collections
- 2009 [579]