Zdroj pro pulzní magnetronové naprašování

Abstract

Předkládaná práce se zabývá návrhem a konstrukcí generátoru pro magnetronové naprašování. Navržené zařízení je schopné generovat dva výstupní signály s obdélníkovým průběhem v protitaktním režimu. U obou výstupů lze nezávisle nastavit frekvenci, počet impulzů a střídu. Zdrojem obou signálů jsou dvě frekvenční syntézy řízené mikrokontrolerem PIC16F877A. Všechny parametry se nastavují pomocí čtyř tlačítek a jsou zobrazovány na alfanumerickém displeji s 16x4 znaky. Úprava střídy je realizována pomocí speciálního modulu.

The presented thesis deals with the design and assembly of the generator for pulse magnetron sputtering. The designed device is capable of generating two square wave signals via its counter-working outputs. Both signals have independently adjustable frequency, pulse count and duty ratio. Both signals originate from two frequency syntheses controlled by microcontroller PIC16F877A. All the settings are entered by four buttons and are shown on an alphanumeric display with 16x4 characters. The duty ratio is adjusted using a special module.