Příprava ultratenkých vrstev SiN
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato bakalářská práce je zaměřena na realizaci, testování a kalibrování efuzní cely poskytující atomární svazky Si o termální energii (0,1 - 1 eV). Tyto svazku jsou užity k přípravě ultratenkých vrstev Si a SiN. Je zpracována rešeršní studie dosavadních poznatků o nitridu křemíku a jeho aplikaci v polovodičovém průmyslu. Dále byly provedeny první experimenty s depozicemi ultratenkých vrstev Si a SiN. Tyto vrstvy byly analyzovány metodami rentgenová fotoelektronová spektroskopie (XPS) a mikroskopie atomárních sil (AFM).
This bachelor´s thesis deals with design, testing and calibration of an effussion cell generating silicon atomic beam having thermal energy (0,1 - 1 eV). These beams are used for the preparation of Si and SiN ultrathin films. Silicon nitride and its applications in semiconductor industry are reviewed. First experiments with deposition of ultrathin films of Si and SiN are described. These layers have been analyzed by x-ray photoelectron spektroscopy (XPS) and atomic force microscopy (AFM).
This bachelor´s thesis deals with design, testing and calibration of an effussion cell generating silicon atomic beam having thermal energy (0,1 - 1 eV). These beams are used for the preparation of Si and SiN ultrathin films. Silicon nitride and its applications in semiconductor industry are reviewed. First experiments with deposition of ultrathin films of Si and SiN are described. These layers have been analyzed by x-ray photoelectron spektroscopy (XPS) and atomic force microscopy (AFM).
Description
Citation
DVOŘÁK, M. Příprava ultratenkých vrstev SiN [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2011.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2011-06-21
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení