Show simple item record

Diagnostics of thin layer deposition using dimethylphenylsilane monomer

dc.contributor.advisorKrčma, Františekcs
dc.contributor.authorProcházka, Michalcs
dc.date.accessioned2018-05-17T11:01:26Z
dc.date.available2018-05-17T11:01:26Z
dc.date.created2010cs
dc.identifier.citationPROCHÁZKA, M. Diagnostika depozice tenkých vrstev připravovaných z dimethylphenylsilanu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2010.cs
dc.identifier.other27443cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/13471
dc.description.abstractCílem této práce je studium procesů probíhajících během depozice organokřemičitanových tenkých vrstev formou plazmové polymerace. Tenké vrstvy se v poslední době staly nejrozšířenějším způsobem povrchových úprav materiálů. Používají se jako ochranné a funkční vrstvy, mohou zvyšovat nebo snižovat adhezi k různým sloučeninám (např. k vodě), nebo jen zlepšit mechanické vlastnosti silnějších materiálů. Plazmové polymery, které nejsou známy moc dlouho, jsou moderním trendem ve vývoji depozice tenkých vrstev. Vykazují perfektní adhezi k substrátu a jsou vysoce odolné vůči většině chemikálií. Jejich struktura je poměrně odlišná od struktury klasických polymerů. V poslední době se jako prekurzory plazmových polymerů začaly používat organokřemičitany, protože křemík zabudovaný v jejich struktuře umožňuje depozici tenkých vrstev na skleněný substrát a organická část monomeru nám nabízí nekonečné možnosti modifikací. V našem případě jsme jako monomer použili dimethylfenylsilan (DMPS). Diagnostiku plazmatu jsme prováděli optickou emisní spektrometrií indukčně vázaného plazmatu a v jednom případě i kapacitně vázaného plazmatu. Touto metodou je možno stanovit složení plazmatu během depozičního procesu. A tím můžeme podle vstupních parametrů předpovědět i složení deponované tenké vrstvy. Z relativních populací jednotlivých fragmentů jsme schopni zjistit optimální nastavení pro depoziční proces. Je také možno spočítat teploty částic v plazmatu, což nám podá informace o energiích těchto částic. První část této studie se zabývá identifikací částic (fragmentů), které vznikly při fragmentaci monomeru v prostředí plazmatu. Ve spektrech jsme úspěšně identifikovali atomární čáry vodíku Balmerovy série. Byla detekována rovněž řada rotačních čar molekulového vodíku. Atomární uhlík se objevil pouze v malém množství. Daleko více uhlíku bylo zjištěno ve formě CH radikálu. Byly zachyceny i slabé čáry atomárního křemíku. Při použití směsi DMPS s kyslíkem byly ve spektrech přítomny i OH radikál a O2+. Dále bylo stanoveno optimální nastavení depozice pro jednotlivé fragmenty z jejich intenzit v optických emisních spektrech. S využitím těchto informací jsme schopni nastavit depoziční proces tak, aby nanášené vrstvy měly požadované složení a vlastnosti. Z Balmerovy série vodíku jsme spočítali elektronovou teplotu. Rotační teplota byla získána z pásu CH. Bohužel se ve spektrech nevyskytoval žádný vhodný radikál pro výpočet vibrační teploty. Všechny výsledky a informace získané během výzkumu mohou být nadále použity při průmyslových procesech plazmové polymerace a při vývoji nových povlaků a funkčních tenkých vrstev. Je možné, že se i další studie budou zabývat monomerem DMPS či jemu podobnými za účelem získání více vědomostí o procesech v plazmatu a tato práce může sloužit jako podklad pro další výzkum. Nicméně tato studie je i součástí mezinárodního projektu, jehož cílem je prozkoumat procesy během plazmové polymerace jak v teoretické, tak i v praktické rovině. Po dokončení bude projekt a jeho výsledky prezentovány ve vědecké literatuře a na mezinárodní konferenci.cs
dc.description.abstractThe aim of this thesis is a study of processes during organosilicone thin film deposition via plasma polymerization. Recently, thin films are the most expanding way of surface modification of materials. They are used as protective coatings, functional layers, they can increase or decrease adhesion to different compounds (e.g. water), or just improve mechanical properties of bulk materials. Plasma polymers, which are not known so long, are a modern trend in evolution of thin film deposition. They have perfect adhesion to the substrate and they are highly resistant against most of chemical compounds. Their structure is quite different from the structure of classical polymers. Recently, organosilicon compounds are used as precursors for plasma polymers because silicon built in the structure of plasma polymer allows thin film deposition on glass substrate and the organic part of monomer gives us infinite possibilities of modification. In our case dimethylphenylsilane (DMPS) was used as a monomer. Various RF low pressure discharges were used during this study. Plasma diagnostic was performed by optical emission spectroscopy of inductive coupled plasma. This method allows us to determine plasma composition during the deposition process. Thus we can predict the composition of deposited thin film according to input parameters. From relative populations of fragments we are able to find out optimal conditions for deposition process. We can also calculate temperature of particles in plasma which gives us some information about particle energies. The first part of the study deals with the identification of particles (fragments) created by fragmentation of monomer in plasma environment. We successfully identified hydrogen atomic lines of Balmer’s series in the spectra. Many rotational lines of hydrogen molecule were also detected. Atomic carbon occurred only in small amount. Much more carbon was detected in the form of CH radical. We also found some weak lines connected to atomic silicon. When we used a mixture of DMPS and oxygen, OH radical and O2+ were present in spectra. Next, optimal settings of deposition were determined for particular fragments from relative intensities of these fragments in optical emission spectra. Using this information we are able to set up the process to deposit thin films of desired composition and properties. We calculated electron temperature from intensities of hydrogen lines in Balmer’s series. Rotational temperature was obtained from CH radical intensity. Unfortunately, there was no convenient radical from which intensity we would be able to calculate vibrational temperature. All results and information obtained during the research can be used in industrial plasma polymerization processes and development of new coatings and functional thin films. Other studies on DMPS or similar monomer may also be realized to get more knowledge about processes in plasma and this thesis could serve as a basis for further research. Moreover, this study is a part of an international project. The aim of this project is to study processes during plasma polymerization both theoretically and practically. Once finished, the project and its results will be presented in scientific literature and at international conferences.en
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemickács
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectoptická emisní spektrometriecs
dc.subjectdiagnostika plazmatucs
dc.subjectdepozice tenkých vrstevcs
dc.subjectorganokřemičitanycs
dc.subjectoptical emission spectroscopyen
dc.subjectplasma diagnosticsen
dc.subjectthin film depositionen
dc.subjectorganosilanesen
dc.titleDiagnostika depozice tenkých vrstev připravovaných z dimethylphenylsilanucs
dc.title.alternativeDiagnostics of thin layer deposition using dimethylphenylsilane monomeren
dc.typeTextcs
dcterms.dateAccepted2010-06-08cs
dcterms.modified2010-07-12-11:45:12cs
thesis.disciplineSpotřební chemiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. Ústav fyzikální a spotřební chemiecs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
sync.item.dbid27443en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2020.03.31 10:55:31en
sync.item.modts2020.03.31 08:37:18en
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta chemickács
dc.contributor.refereeKudrle, Vítcs
dc.description.markAcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
but.committeeprof. Ing. Miloslav Pekař, CSc. (předseda) prof. Ing. Michal Čeppan, CSc. (místopředseda) prof. RNDr. Marie Kaplanová, CSc. (člen) doc. Ing. Pavel Kovařík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Marián Lehocký, Ph.D. (člen) prof. Ing. Michal Veselý, CSc. (člen) prof. Ing. Oldřich Zmeškal, CSc. (člen)cs
but.defenceČeppan - vhodnost metod závisí na tloušťce vrstev - jaká je povrchová energie vrstev, k čemu lze využít Lehocký - jakými metodami lze určit složení vrstev - optické metody Kaplanová - jak se provádí tahové a ohybové zkoušky tenkých vrstev - jak byla zjišťována struktura vrstev (polymer, olygomer) - možnosti využití tenkých vrstev Čeppan - jaké lasery byly použity při ozařování, rozsah vlnových délek - které fragmenty jsou nejdůležitější pro vybudování vrstvy Veselý - terminologie: plazmová polymerizace - polymerizace v plazmatucs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
but.programSpotřební chemiecs
but.jazykčeština (Czech)


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record