Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM

Abstract

Práce se zabývá úpravou a stavbou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro enviromentální rastrovací elektronový mikroskop. Popisuje problematiku rastrovací enviromentální elektronové mikroskopie, typy detektorů a detekci sekundárních elektronů. Obsahem praktické části je návrh a stavba nového scintilačního detektoru na základě simulací drah sekundárních elektronů. U realizovaného detektoru pak proměření jeho parametrů, proměření tlakových závislostí a optimalizace elektrodového systému.

The thesis deals with modifying and biulding of scintilation detector of secondary electrons for environmental scanning electron microscopy. It describes dilemma of environmental scanning electron microscopy, types of detectors and secondary electrons detection. The experimental part of this thesis focuses on the design and construction of new scintillation detector on the basis of simulations secondary electrons trajectories. Identifying the parameters, pressure dependencies and optimizations of electrode system of the detector realized.