Charakterizace nanostruktur deponovaných PVD a CVD technologiemi

Loading...
Thumbnail Image
Date
ORCID
Mark
P
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Disertační práce se zabývá mechanickými vlastnostmi tenkých otěru odolných tvrdých vrstev. Představuje metodu dynamického testování tenkých tvrdých vrstev na nově zkonstruovaném prototypu dynamického měřiče otěru. Přináší srovnání se standardními metodami zkoušení vrstev a doplňuje je o nové experimentální výsledky dynamických testů vrstev. V neposlední řadě se zabývá preparačními technikami vrstvových systémů nanesených na různé podložky a jejich charakterizace pomocí optické a elektronové mikroskopie.
The thesis deals with mechanical properties of thin hard wear-resistant coatings. The work presents a method of dynamic testing of thin hard coatings on a newly constructed prototype of impact wear tester. It provides a comparison with standard methods of layer testing and presents new experimental results of dynamic impact wear test of the coatings. Finally, the thesis covers preparation techniques of thin film systems deposited on various substrates and their characterization using optical and electron microscopy.
Description
Citation
FOŘT, T. Charakterizace nanostruktur deponovaných PVD a CVD technologiemi [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda) RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D. - oponentka (člen) doc. Ing. Arnošt Bajer, CSc. (člen) Ing. Jaroslav Sobota, CSc. (člen) Doc. Ing. jaroslav Boušek, CSc. - oponent (člen) doc. Ing. Jan Maschke, CSc. (člen) doc. RNDr. Jiří Dřímal, CSc. (člen)
Date of acceptance
2009-12-07
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení
DOI
Collections
Citace PRO