Tvorba nanostruktur využitím mikroskopu AFM
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato bakalářská práce pojednává o tvorbě nanostruktur využitím mikroskopie atomárních sil. Teoretická část poskytuje stručný úvod do mikroskopie atomárních sil a lokální anodické oxidace a je založena na literární rešerši. Experimentální část je zaměřena na vyšetřování závislosti operačních parametrů (napětí mezi hrotem a vzorkem, rychlost hrotu) na rozměrech LAO nanostruktur na Si (111). Dále je na těchto oxidových nanostrukturách pozorován a analyzován selektivní růst kobaltu a galia .
This bachelor thesis deals with fabrication of nanostructures using atomic force microscopy. The theoretical part gives a brief introduction into atomic force microscopy and local anodic oxidation and it is based on literature retrieval. The experimental part is concentrated on investigation of influence of operational parameters (tip-sample voltage, speed of the tip) on dimensions of LAO nanostructures on Si(111). Further the selective growth of cobalt and gallium on such oxide nanostructures is observed and analysed.
This bachelor thesis deals with fabrication of nanostructures using atomic force microscopy. The theoretical part gives a brief introduction into atomic force microscopy and local anodic oxidation and it is based on literature retrieval. The experimental part is concentrated on investigation of influence of operational parameters (tip-sample voltage, speed of the tip) on dimensions of LAO nanostructures on Si(111). Further the selective growth of cobalt and gallium on such oxide nanostructures is observed and analysed.
Description
Citation
DOUPAL, A. Tvorba nanostruktur využitím mikroskopu AFM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2008.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2008-06-12
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení