Tvorba plazmonických mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Creation of plasmonic micro- and nanostructures by electron beam lithography
Author
Advisor
Kvapil, MichalReferee
Dvořák, PetrGrade
AAltmetrics
Metadata
Show full item recordAbstract
Tato bakalářská práce se zabývá výrobou plazmonických antén pomocí elektronové litografie. V první části jsou shrnuty informace o technologiích použitelných pro tvorbu kovových nano a mikrostruktur na křemíkovém a skleněném substrátu. V další části je popsána metoda elektronové litografie a technologie, které jsou pro ni používány. V závěrečné části jsou popsány provedené experimenty a vytvořen empirický model popisující závislost velikosti vyrobených struktur na parametrech litografie. This beachelor’s thesis deals with a fabrication of plasmonic antennas using electron beam lithography. First section consists of summary of a technologies that can be used for production of metallic micro and nanostructures on silicon and glass substrate. Second section provides a description of electron beam lithography method and technologies that are used for it. Final part describes experiments, that were done and empiric model describing dependance of dimension of fabricated structures on lithographic parameters.
Keywords
EBL, elektronová litografie, plazmonické antény, empirický model, EBL, electron beam lithography, plasmonic antennas, empiric modelLanguage
čeština (Czech)Study brunch
Fyzikální inženýrství a nanotechnologieComposition of Committee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)Date of defence
2012-06-20Process of defence
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájenaPersistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/17207Source
BABOCKÝ, J. Tvorba plazmonických mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2012.Collections
- 2012 [547]