Chemická struktura tenkých vrstev na bázi křemíku
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract
Tato bakalářská práce se zabývá charakterizací a přípravou tenkých polymerních vrstev na křemíkové substráty metodou plazmochemické depozice z plynné fáze. Hlavní součástí práce je literární rešerše z oblasti plazmové polymerace a infračervené spektroskopie. V experimentální části byly připraveny tenké polymerní vrstvy na bázi tetravinylsilanu a tetravinylsilanu s přídavkem směsného plynu (argonu). Připravené tenké vrstvy plazmových polymerů byly charakterizovány pomocí vybrané spektroskopické techniky - infračervené spektroskopie. Na základě vyhodnocení transmisních infračervených spekter byla určena chemická struktura vytvořených polymerních vrstev. Stanovené chemické struktury připravených vrstev byly sledovány s ohledem na depoziční podmínky a tedy i na možnost přípravy materiálů na míru pro nejrůznější použití.
This bachelor thesis deals with the characterization and preparation of thin polymer films deposited on silicon wafers by plasma-enhanced chemical vapour deposition. The main part of the work is background research in the field of plasma polymerization and infrared spectroscopy. Thin polymer films based on tetravinylsilane and tetravinylsilane with the addition of mixed gas (argon) were prepared in the experimental part. The prepared thin films of plasma polymers were characterized by the selected spectroscopic technique - infrared spectroscopy. Based on the evaluation of transmission infrared spectra, the chemical structure of the deposited polymer films was determined. The determined chemical structures of the prepared films were observed with respect to the deposition conditions and hence the possibility to prepare tailored films for a variety of applications.
This bachelor thesis deals with the characterization and preparation of thin polymer films deposited on silicon wafers by plasma-enhanced chemical vapour deposition. The main part of the work is background research in the field of plasma polymerization and infrared spectroscopy. Thin polymer films based on tetravinylsilane and tetravinylsilane with the addition of mixed gas (argon) were prepared in the experimental part. The prepared thin films of plasma polymers were characterized by the selected spectroscopic technique - infrared spectroscopy. Based on the evaluation of transmission infrared spectra, the chemical structure of the deposited polymer films was determined. The determined chemical structures of the prepared films were observed with respect to the deposition conditions and hence the possibility to prepare tailored films for a variety of applications.
Description
Citation
OLIVOVÁ, L. Chemická struktura tenkých vrstev na bázi křemíku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2019.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Chemie, technologie a vlastnosti materiálů
Comittee
doc. Ing. František Šoukal, Ph.D. (předseda)
prof. RNDr. Josef Jančář, CSc. (člen)
prof. Ing. Ladislav Omelka, DrSc. (člen)
prof. Ing. Petr Ptáček, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Tomáš Svěrák, CSc. (člen)
doc. Ing. Lucy Vojtová, Ph.D. (člen)
Ing. Lukáš Tvrdík, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2019-06-11
Defence
1. Studentka seznámila členy komise s teoretickými základy a cíli své bakalářské práce a velmi přehledně přednesla výsledky, kterých dosáhla v experimentální části.2. Byly přečteny posudky na bakalářskou práci.3. Studentka akceptovala všechny připomínky oponenta a na všechny otázky odpověděla v plné šíři.4. Diskuse: Členové komise vznesly několik přípomínek a otázek k práci. Studentka výborně reagovala na všechny připomínky a otázky vzešlé z diskuze a prokázala výbornou orientaci v daném tématu.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení