Browsing 2020 by Subject "a-CSi:H"
Now showing items 1-2 of 2
-
Povrchové a mechanické vlastnosti a-CSi:H a a-CSiO:H vrstev
Dizertační práce se zabývá přípravou a charakterizací tenkých a-CSi:H a a-CSiO:H vrstev připravených pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). Tetravinylsilan (TVS) a jeho směsi s argonem a kyslíkem byly použity ... -
Progresivní slitiny amorfního uhlíku připravené v nízkoteplotním plazmatu
Technológia atómovej/plazmovej polymerizácie patrí medzi veľmi využívané v rôznych technických oblastiach. Táto práca je zameraná na využitie technológie PE-CVD v oblasti tvorby medzifázových a adhéznych vrstiev, ktoré sú ...