Now showing items 1-1 of 1

  • Povrchové a mechanické vlastnosti a-CSi:H a a-CSiO:H vrstev 

    Plichta, Tomáš
    Dizertační práce se zabývá přípravou a charakterizací tenkých a-CSi:H a a-CSiO:H vrstev připravených pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). Tetravinylsilan (TVS) a jeho směsi s argonem a kyslíkem byly použity ...