Depozice pomocí fokusovaného elektronového svazku

Loading...
Thumbnail Image
Date
ORCID
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract
V rámci této práce byla provedena série depozic pomocí fokusovaného elektronového svazku z trimethyl(methylcyklopentadienyl)platičitého komplexu v prostředí vodních par. Byla sledována závislost čistoty připravených materiálů na urychlovacím napětí svazku a tlaku vodních par. Bylo dosaženo maximálního obsahu platiny (27,2 ± 0,4) at. % (při urychlovacím napětí 5 kV, proudu svazku 1600 pA a tlaku vodních par 100 Pa). Po následném dlouhodobém vystavení atmosférickým vlivům (světlu, vzdušné vlhkosti a kyslíku) tato hodnota vzrostla až na konečných (39,2 ± 2,1) at. %.
Within this work, a set of depositions induced by focused electron beam was prepared. The depositions were prepared in the presence of water vapours from trimethyl(methylcyclopentadienyl)platinum(IV) precursor. The dependence of prepared materials purity on beam accelerating voltage and water vapour pressure was measured. The best platinum content was achieved at (27,2 ± 0,4) at. %, with beam accelerating voltage 5 kV, beam current 1600 pA and water vapour pressure 100 Pa. Due to subsequent long-term exposure to light, air humidity and air oxygen, the platinum content was increased to (39,2 ± 2,1) at. %.
Description
Citation
JUŘÍK, K. Depozice pomocí fokusovaného elektronového svazku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2020.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Spotřební chemie
Comittee
prof. Ing. Miloslav Pekař, CSc. (předseda) prof. Ing. Michal Veselý, CSc. (místopředseda) prof. Ing. Michal Čeppan, Ph.D. (člen) doc. Ing. Karel Friess, Ph.D. (člen) doc. Ing. Zdenka Kozáková, Ph.D. (člen) doc. Ing. Marián Lehocký, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2020-06-25
Defence
Obhajoba diplomové práce proběhla podle následujícího schématu: prezentace studenta-vyjádření vedoucí/ho-oponentský posudek-reakce na posudek-diskuse s komisí. Student přednesl výborný výtah výsledků své práce, řádně zodpověděl všechny dotazy oponentské i členů komise, pohotově reagoval na připomínky. V diskusi tak student prokázal výbornou schopnost orientace v teoretických i praktických základech problematiky práce. Komise zhodnotila jeho práci celkově jako výbornou. Pekař: Jak se nastavoval tlak vody v mikroskopu? Veselý: Existují jiné prekurzory pro tvorbu depoziční vrstvy? Friess: Jakou analytickou metodou se stanovoval obsah vody a uhlíku? Kozáková: Jaké ionty se používají pro depozice?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení
DOI
Collections
Citace PRO