Design and Fabrication of Fully Implantable MEMS Cochlea
Loading...
Date
2015-01-02
ORCID
Advisor
Referee
Mark
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Elsevier
Altmetrics
Abstract
The micro-electro-mechanical array for application as fully implantable cochlea is presented in this paper. The complete system including a short overview of energy harvesting and the system configuration is proposed. This study mainly covers mechanical properties of cochlea microfabricated silicon structure. Electro-mechanical simulations are proceeded to optimize the material used for resonators, the size of array membranes and to estimate the resistive change due to the input sound signal. The sound is detected by thin SiXNY diaphragm due to resonant frequency and the displacement of the membrane caused by acoustic pressure. The displacement is detected employing piezoresistive electrodes (NiCr). Design and fabrication process based on MEMS technology are described and discussed. The response measurement of the cochlea structure is performed.
Mikro-elektro-mechanický pole plně implantabilní hlemýžď je uveden v tomto článku.Kompletní systém včetně krátký přehled o sklizni energie a konfiguraci systému se navrhuje. Tato studie se týká hlavně mechanický vlastnosti hlemýždě mikrofabrikovaném křemíkové struktuře. Elektromechanické simulace pokračoval optimalizaci materiálu používá pro rezonátory, velikost pole membrán a pro odhad odporové změny v důsledku zvukového signálu na vstupu. Zvuk je detekovány tenkou SiXNY membránou v důsledku rezonanční frekvence a posunutí membrány způsobené akustického tlaku. Posunutí je detekován zaměstnává piezorezistivních elektrody (NiCr). Design a zhotovení proces založený na MEMS technologie jsou popsány a diskutovány.Měření odezvy konstrukce hlemýždě se provádí.
Mikro-elektro-mechanický pole plně implantabilní hlemýžď je uveden v tomto článku.Kompletní systém včetně krátký přehled o sklizni energie a konfiguraci systému se navrhuje. Tato studie se týká hlavně mechanický vlastnosti hlemýždě mikrofabrikovaném křemíkové struktuře. Elektromechanické simulace pokračoval optimalizaci materiálu používá pro rezonátory, velikost pole membrán a pro odhad odporové změny v důsledku zvukového signálu na vstupu. Zvuk je detekovány tenkou SiXNY membránou v důsledku rezonanční frekvence a posunutí membrány způsobené akustického tlaku. Posunutí je detekován zaměstnává piezorezistivních elektrody (NiCr). Design a zhotovení proces založený na MEMS technologie jsou popsány a diskutovány.Měření odezvy konstrukce hlemýždě se provádí.
Description
Citation
Energy Procedia. 2015, vol. 100, issue 1, p. 1224-1231.
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1877705815005147
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1877705815005147
Document type
Peer-reviewed
Document version
Published version
Date of access to the full text
Language of document
en
Study field
Comittee
Date of acceptance
Defence
Result of defence
Document licence
Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/