Vliv způsobu čerpání experimentální komory na průběh teploty plynu

Abstract

Diplomová práce se zabývá problematikou čerpání v experimentální komory elektronového mikroskopu na průběh teploty plynu. V teoretické části je popsána mikroskopie obecně. Poté se práce zabývá konkrétně elektronovou mikroskopií s problematikou jejího vakuového systému, výpočetními programy a studií, ze které práce vychází. V praktické části jsou provedeny a vyhodnoceny simulace čerpání v experimentální komoře pomocí systému Ansys Fluent.

The master‘s thesis is focused on issue of pumping in the experimental pumped chambre of an environmental scanning microcope. In the theoretical part, there are presented microscopy as science. Afterwards the thesis is focused on electron microscopy and its problem and vakuum system, computer program used for preparation of simulation and study that the experimental part is based on. The experimental part contains the results of gas flow in the differential pumped chambre. The problematics were solved by Ansys Fluent system.