Now showing items 1-1 of 1

  • Selektivní růst GaN na SiN 

    Hulva, Jan
    Tato bakalářská práce se zabývá selektivním růstem gallia a gallium nitridu na substrátech nitridu křemíku. Depozicí nízkoenergiových dusíkových iontů je na křemíkovém substrátu vytvořena vrstva nitridu křemíku (SiN). Na ...