Now showing items 1-1 of 1

  • Diagnostika plazmatu během depozice organosilikonových vrstev 

    Jakobová, Martina
    Tématem této bakalářské práce je diagnostika plazmatu během depozice tenkých organosilikonových vrstev. Jako monomer byl použit hexamethyldisiloxan (HMDSO), diagnostickou metodou byla emisní spektroskopie plazmatu. V ...