Now showing items 1-1 of 1

  • Microdefects in Czochralski Silicon 

    Válek, Lukáš
    Disertační práce se zabývá studiem defektů v monokrystalech Czochralskiho křemíku legovaných bórem. Práce studuje vznik kruhových obrazců vrstevných chyb pozorovaných na povrchu křemíkových desek po oxidaci. Hlavním cílem ...