Návrh komplexní modulární UHV aparatury pro tvorbu, modifikaci a pozorování nanostruktur in situ

Design of a Complex Modular UHV Aparature for Preparing, Observing and Modifying of Nanostructures in Situ

Thumbnail
View/Open
Author
Advisor
Spousta, Jiří
Referee
Tichopádek, Petr
Kostelník, Petr
Grade
P
Altmetrics
Metadata
Show full item record
Abstract
Předkládaná práce se zabývá vývojem komplexní modulární ultravakuové aparatury na bázi ultravakuového rastrovacího elektronového mikroskopu UHV SEM. Zaměřuje se především na konstrukční návrh zařízení, který je přizpůsoben požadavkům ultravakua, omezení mechanických vibrací a vědecko-výzkumným aplikacím. Komplexní UHV SEM aparatura je určena pro přípravu, pozorování a modifikaci nanostruktur in situ.
 
The thesis deals with the development of complex modular ultra-high vacuum system based on ultra-high vacuum scanning electron microscope UHV SEM. This discourse focuses primarily on engineering design of the system, which is underlying demands of ultra-high vacuum, limitation of mechanical vibrations and future R&D applications. The device is designed for preparing, observing and modifying of nanostructures in situ.
 
Keywords
UHV, ultravakuum, SEM, rastrovací elektronový mikroskop, mikroskopie, AES, SAM, ultravakuový systém, UHV, Ultra-High Vacuum, SEM, scanning electron microscope, microscopy, AES, SAM, Ultra-High Vacuum system
Language
čeština (Czech)
Study brunch
Fyzikální a materiálové inženýrství
Composition of Committee
prof. RNDr. Karel Maca, Dr. (předseda) Ing. Petr Kostelník, Ph.D. (člen) Ing. Petr Tichopádek, Ph.D. (člen) doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (člen)
Date of defence
2022-03-28
Process of defence
Práce disertanta byla v diskusi vysoce hodnocena, zvláště šíře a kvalita odvedené práce, která vedla ke vzniku ojedinělého high-tech zařízení vysoké přidané hodnoty. UMV SEM zařízení bude na VUT i nadále velmi intenzivně využíváno v každodenním i aplikovaném výzkumu vedoucími k dizertační činnosti.
Result of the defence
práce byla úspěšně obhájena
Persistent identifier
http://hdl.handle.net/11012/204074
Source
PÁLENÍČEK, M. Návrh komplexní modulární UHV aparatury pro tvorbu, modifikaci a pozorování nanostruktur in situ [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2022.
Collections
Citace PRO