Now showing items 1-1 of 1

  • Řízení depozičního procesu pomocí počítače 

    Pavera, Michal
    Bakalářská práce se zabývá problematikou spojenou s návrhem automatizace depozice ultratenkých vrstev metodou IBAD. Jedním z úkolů bakalářské práce je návrh a realizace ovládání držáku substrátu a terče. Tato práce tedy ...